[發(fā)明專利]一種晶圓涂膠設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010035867.6
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN111085387A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 商帥
• 申請（專利權(quán)）人: 商帥
• 主分類號: B05C1/02
• 分類號: B05C1/02;B05C11/10;B05C13/02
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本發(fā)明公開了一種晶圓涂膠設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括控制面板、機箱、夾持臺、涂抹機構(gòu)、固定架、升降桿、升降缸、固定臺，機箱的正面上設(shè)有控制面板且頂部的后端上連接有固定架，固定架上焊接有固定臺，升降缸垂直安裝在固定臺的頂部上；有益效果：在旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)有兩組對稱的散料器，散料器內(nèi)部設(shè)有放料輥，放料輥上開有八組的盛料槽，盛料槽可以控制膠料的量，使膠料均勻的分布在晶圓片上；在膠料槽的底部開有兩側(cè)設(shè)有兩個的撫平板，撫平板可以將盛料槽上多余的膠料的刮去，防止一次性下料太多；在旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)有兩組的平鋪器，平鋪器上的滾輪可以對晶圓片上的膠料進行鋪平。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是一種晶圓涂膠設(shè)備，屬于晶圓涂膠加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

晶圓是制造半導體芯片的基本材料，半導體集成電路最主要的原料是硅，硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式廣泛存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型，在對晶圓進行涂膠時，將膠料放在晶圓上鋪開，晶圓高速旋轉(zhuǎn)，對膠料進行的攤鋪，這樣容易造成晶圓表面的膠料分布不均，部分的膠料偏厚，而部分膠料偏薄現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明目的是提供一種晶圓涂膠設(shè)備，以解決。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種晶圓涂膠設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括控制面板、機箱、夾持臺、涂抹機構(gòu)、固定架、升降桿、升降缸、固定臺，所述機箱的正面上設(shè)有控制面板且頂部的后端上連接有固定架，所述固定架上焊接有固定臺，所述升降缸垂直安裝在固定臺的頂部上，所述固定臺的下方設(shè)有涂抹機構(gòu)且涂抹機構(gòu)通過三組的升降桿與固定臺活動連接，所述涂抹機構(gòu)的正下方安裝有夾持臺且夾持臺位于機箱頂部的中間；

作為優(yōu)選的，所述涂抹機構(gòu)由圓環(huán)架、旋轉(zhuǎn)盤、散料器、平鋪器組成，所述旋轉(zhuǎn)盤上分布有兩根對稱的散料器與兩根對稱的平鋪器，所述旋轉(zhuǎn)盤上的旋轉(zhuǎn)盤與散料器交錯分布。

作為優(yōu)選的，所述夾持臺由收集槽與晶圓放置臺組成，所述夾持臺中間設(shè)有晶圓放置臺，所述晶圓放置臺四周開有收集槽。

作為優(yōu)選的，所述散料器由加料口、膠料槽、通孔、放料輥與撫平板組成，所述散料器內(nèi)部開有膠料槽且膠料槽上方的頂板上開有通孔，所述通孔的上方安裝有加料口，所述膠料槽的底部活動安裝有放料輥，所述膠料槽底部開口處兩側(cè)都設(shè)有撫平板。

作為優(yōu)選的，所述撫平板為圓弧狀的結(jié)構(gòu)且與撫平板兩側(cè)相貼合。

作為優(yōu)選的，所述撫平板上均勻等距開有八組的盛料槽，所述盛料槽底部為圓弧形的結(jié)構(gòu)。

作為優(yōu)選的，所述平鋪器由旋轉(zhuǎn)鈕、滾輪、絲桿、升降架、旋轉(zhuǎn)軸、圓套組成，所述平鋪器內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)且內(nèi)部設(shè)有滾輪，所述滾輪兩側(cè)上的框架上都安裝有兩根的絲桿，所述滾輪上的旋轉(zhuǎn)軸與升降架上的圓套相配合，所述滾輪通過升降架與兩側(cè)的絲桿螺紋連接，所述絲桿貫穿平鋪器的頂部且與旋轉(zhuǎn)鈕相連接。

作為優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)盤由旋轉(zhuǎn)環(huán)、齒輪與電機組成，所述電機與齒輪相連接，所述齒輪與旋轉(zhuǎn)環(huán)內(nèi)側(cè)上的齒相嚙合。

作為優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)環(huán)與散料器、平鋪器相連接。

作為優(yōu)選的，所述圓環(huán)架的直徑比收集槽的外徑小且兩者間隙配合。

作為優(yōu)選的，所述加料口上設(shè)有閥門。

有益效果

本發(fā)明一種晶圓涂膠設(shè)備，具有以下效果：

本發(fā)明在旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)有兩組對稱的散料器，散料器內(nèi)部設(shè)有放料輥，放料輥上開有八組的盛料槽，盛料槽可以控制膠料的量，使膠料均勻的分布在晶圓片上；

本發(fā)明在膠料槽的底部開有兩側(cè)設(shè)有兩個的撫平板，撫平板可以將盛料槽上多余的膠料的刮去，防止一次性下料太多；