[發明專利]一種電子束聚焦位偏移測試裝置

在審

• 申請號: 202010029378.X
• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN111141222A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 程永波;黃偉;曹娟
• 申請（專利權）人: 江蘇久瑞高能電子有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種電子束聚焦位偏移測試裝置，包括電子束引出系統、聚焦系統、波紋管組件以及掃描系統，所述電子束引出系統通過支撐管與聚焦系統連接，所述聚焦系統通過四通組件與波紋管組件連接，所述掃描系統位于波紋管組件底端；還包括測量裝置；所述四通組件的法蘭與波紋管組件的法蘭之間設置有光纜組件，所述測量裝置接地并且與光纜組件電性連接，所述光纜組件包括法蘭焊接組件。本發明可對電子束束斑位進行在線實時檢測，并且可在發生偏移時進行糾正，形成反饋機制，避免電子束偏移打在真空管道上，且可避免造成設備嚴重損壞以及由于電子束偏移打在真空管道外壁上后產生的X射線。

技術領域

本發明涉及電子加速器相關領域，具體涉及一種電子束聚焦位偏移測試裝置。

背景技術

由于低能電子束設備存在能量低，電子束束功率大的特點，電子束在產生、加速及傳輸過程中受空間磁場、空間電場、空間電荷效應等諸多因素影響，其軌跡容易產生偏移，致使設備損壞，輻照均勻性波動、橫向輻照寬度變化等諸多影響。

目前低能電子束設備為了防止電子束偏移，一般采用外部增加磁屏蔽裝置、改善加速管引出結構等方式，但是由于突發情況(真空突變、加速管層間放電、高壓電源輸入紋波影響、聚焦電源及磁鐵故障等)引發的偏移則無法有效避免。

發明內容

本發明的目的是：提供一種電子束聚焦位偏移測試裝置，對電子束束斑位進行在線實時檢測，并且可在發生偏移時進行糾正，形成反饋機制，避免電子束偏移打在真空管道上，因此可保證產品輻照的均勻性和橫向寬度，且可避免造成設備嚴重損壞以及由于電子束偏移打在真空管道外壁上后產生的X射線。

為了實現上述目的，本發明提供如下的技術方案：

一種電子束聚焦位偏移測試裝置，包括電子束引出系統、聚焦系統、波紋管組件以及掃描系統，所述電子束引出系統通過支撐管與聚焦系統連接，所述聚焦系統通過四通組件與波紋管組件連接，所述掃描系統位于波紋管組件底端；還包括測量裝置；所述四通組件的法蘭與波紋管組件的法蘭之間設置有光纜組件，所述測量裝置接地并且與光纜組件電性連接，所述光纜組件包括法蘭焊接組件。

進一步的，所述光纜組件還包括合金墊圈和絕緣片；所述法蘭焊接組件的上端面依次通過合金墊圈和絕緣片與四通組件的法蘭連接，所述法蘭焊接組件的下端面依次通過合金墊圈和絕緣片與波紋管組件的法蘭連接。

進一步的，所述法蘭焊接組件包括法蘭體、蓋環以及水管接頭；所述法蘭體上同軸設置有環形水槽，所述環形水槽內設置有隔板，所述蓋環封閉蓋在環形水槽上并且與隔板相配合。

進一步的，所述水管接頭位于法蘭體的側面，所述水管接頭的數量為兩個并且分別與隔板兩側的環形水槽側壁相連通。

進一步的，所述法蘭體中部同軸設置有通孔；所述合金墊圈和絕緣片的中心孔同軸設置，并且孔徑均大于法蘭體中部的通孔的孔徑。

進一步的，所述法蘭焊接組件的材質為T2銅，所述合金墊圈的材質為可伐合金，所述絕緣片的材質為95瓷；所述測量裝置具體為電流檢測儀。

本發明的有益效果為：一種電子束聚焦位偏移測試裝置，通過光纜組件和測量裝置的配合使用，可對真空管道內的電子束束斑位是否發生偏移進行檢測，如果電子束束斑位發生偏移，則電子束射線會打在光纜組件上，此時測量裝置會檢測到，并且可在發生偏移時進行糾正，形成反饋機制，避免射線打在真空管道上，因此可保證產品輻照的均勻性和橫向寬度，且可避免造成設備嚴重損壞以及由于電子束偏移打在真空管道外壁上后產生的X射線。

附圖說明

圖1為本發明一種電子束聚焦位偏移測試裝置的結構示意圖。

圖2為本發明一種電子束聚焦位偏移測試裝置的法蘭焊接組件的結構示意圖。

圖3為圖3所示結構的下端視角的示意圖。