[發明專利]一種電子束聚焦位偏移測試裝置

在審

• 申請號: 202010029378.X
• 申請日: 2020-01-13
• 公開（公告）號: CN111141222A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 程永波;黃偉;曹娟
• 申請（專利權）人: 江蘇久瑞高能電子有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電子束聚焦位偏移測試裝置，包括電子束引出系統(1)、聚焦系統(2)、波紋管組件(4)以及掃描系統(5)，所述電子束引出系統(1)通過支撐管(7)與聚焦系統(2)連接，所述聚焦系統(2)通過四通組件(8)與波紋管組件(4)連接，所述掃描系統(5)位于波紋管組件(4)底端；其特征在于：還包括測量裝置(6)；所述四通組件(8)的法蘭與波紋管組件(4)的法蘭之間設置有光纜組件(3)，所述測量裝置(6)接地并且與光纜組件(3)電性連接，所述光纜組件(3)包括法蘭焊接組件(31)。

2.根據權利要求1所述的一種電子束聚焦位偏移測試裝置，其特征在于：所述光纜組件(3)還包括合金墊圈(32)和絕緣片(33)；所述法蘭焊接組件(31)的上端面依次通過合金墊圈(32)和絕緣片(33)與四通組件(8)的法蘭連接，所述法蘭焊接組件(31)的下端面依次通過合金墊圈(32)和絕緣片(33)與波紋管組件(4)的法蘭連接。

3.根據權利要求2所述的一種電子束聚焦位偏移測試裝置，其特征在于：所述法蘭焊接組件(31)包括法蘭體(311)、蓋環(314)以及水管接頭(316)；所述法蘭體(311)上同軸設置有環形水槽(313)，所述環形水槽(313)內設置有隔板(315)，所述蓋環(314)封閉蓋在環形水槽(313)上并且與隔板(315)相配合。

4.根據權利要求3所述的一種電子束聚焦位偏移測試裝置，其特征在于：所述水管接頭(316)位于法蘭體(311)的側面，所述水管接頭(316)的數量為兩個并且分別與隔板(315)兩側的環形水槽(313)側壁相連通。

5.根據權利要求4所述的一種電子束聚焦位偏移測試裝置，其特征在于：所述法蘭體(311)中部同軸設置有通孔(312)；所述合金墊圈(32)和絕緣片(33)的中心孔同軸設置，并且孔徑均大于法蘭體(311)中部的通孔(312)的孔徑。

6.根據權利要求5所述的一種電子束聚焦位偏移測試裝置，其特征在于：所述法蘭焊接組件(31)的材質為T2銅，所述合金墊圈(32)的材質為可伐合金，所述絕緣片(33)的材質為95瓷；所述測量裝置(6)具體為電流檢測儀。