[發明專利]安裝裝置及半導體器件的制造方法

在審

• 申請號: 202010026273.9
• 申請日: 2020-01-10
• 公開（公告）號: CN111564375A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 酒井一信;石川雄大
• 申請（專利權）人: 捷進科技有限公司
• 主分類號: H01L21/52
• 分類號: H01L21/52;H01L21/67;G03B15/05;H04N5/232;H04N5/235
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;劉偉志

1.一種安裝裝置，其特征在于，具備：

第一攝像裝置，其相對于第一拍攝對象物相對地移動，對所述第一拍攝對象物進行拍攝；和

第一照明裝置，其向所述第一拍攝對象物照射光，

所述第一照明裝置構成為，在所述第一攝像裝置的曝光時間內以振動周期的1/2以下的周期多次進行頻閃發光。

2.如權利要求1所述的安裝裝置，其特征在于，

還具備向所述第一照明裝置供給照明發光電流的頻閃照明電源，

所述第一攝像裝置構成為，基于拍攝觸發信號開始曝光并且生成向所述頻閃照明電源供給的頻閃觸發信號，

所述頻閃照明電源構成為，基于所述頻閃觸發信號周期性地將所述照明發光電流向所述第一照明裝置供給。

3.如權利要求1所述的安裝裝置，其特征在于，還具備：

頻閃照明電源，其向所述第一照明裝置供給照明發光電流；和

脈沖發生電路，其基于觸發信號生成向所述頻閃照明電源供給的頻閃觸發信號，

所述第一攝像裝置構成為，基于拍攝觸發信號開始曝光并且生成向所述頻閃照明電源供給的頻閃觸發信號，

所述頻閃照明電源構成為，基于所述頻閃觸發信號周期性地將所述照明發光電流向所述第一照明裝置供給。

4.如權利要求1所述的安裝裝置，其特征在于，還具備：

第二攝像裝置，其相對于第二拍攝對象物相對地移動，對所述第二拍攝對象物進行拍攝；和

第二照明裝置，其向所述第二拍攝對象物照射光，

所述第二照明裝置構成為，在所述第二攝像裝置的曝光時間內以振動周期的1/2以下的周期多次進行頻閃發光。

5.如權利要求4所述的安裝裝置，其特征在于，

所述第一拍攝對象物為裸芯片，

所述安裝裝置還具備搬送所述裸芯片的第一安裝頭，

所述第一攝像裝置構成為被固定，且從下方對保持于移動的所述第一安裝頭的所述裸芯片進行拍攝。

6.如權利要求5所述的安裝裝置，其特征在于，

所述第二拍攝對象物為修正標記，

所述第二攝像裝置構成為，搭載于所述第一安裝頭，在所述第一攝像裝置對保持于移動的所述第一安裝頭的所述裸芯片進行拍攝時從上方對所述修正標記進行拍攝。

7.如權利要求6所述的安裝裝置，其特征在于，

所述第二攝像裝置構成為從上方對供所述裸芯片載置的基板進行拍攝。

8.如權利要求7所述的安裝裝置，其特征在于，

還具備搬送所述裸芯片的轉移臺，

所述第二攝像裝置構成為從上方對保持于所述轉移臺的所述裸芯片進行拍攝。

9.如權利要求4所述的安裝裝置，其特征在于，

所述第一照明裝置具備偽同軸照明和側方照明，

所述第二照明裝置具備偽同軸照明和側方照明。

10.如權利要求8所述的安裝裝置，其特征在于，還具備：

安裝臺；

第一梁，其以跨在所述安裝臺的上方的方式向第一方向延伸，且其兩端分別以向第二方向移動自如的方式被支承；和

第二梁，其以跨在所述安裝臺的上方的方式向所述第一方向延伸，且其兩端分別以向所述第二方向移動自如的方式支承在所述安裝臺上，

所述第一安裝頭構成為以向所述第一方向移動自如的方式支承于所述第一梁。

11.如權利要求10所述的安裝裝置，其特征在于，還具備：

翻轉拾取頭，其從裸芯片供給部拾取所述裸芯片并將其翻轉；和

拾取頭，其能夠向所述第一方向移動自如，且拾取由所述翻轉拾取頭拾取的所述裸芯片，

所述轉移臺能夠向所述第二方向移動自如，且載置所述拾取頭拾取的所述裸芯片，

所述第一安裝頭構成為，拾取載置于所述轉移臺的所述裸芯片，并將其載置于所述安裝臺上的所述基板。