[發明專利]一種MWT太陽能電池改善穩態的PSG調整和測試方法

有效

• 申請號: 202010024420.9
• 申請日: 2020-01-09
• 公開（公告）號: CN111245366B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 段帥華;邢飛;史修江;夏中雪
• 申請（專利權）人: 徐州谷陽新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 南京樂羽知行專利代理事務所(普通合伙) 32326
• 代理人: 李培

1.一種MWT太陽能電池改善穩態的PSG調整和測試方法，其特征在于：包括測試步驟和調整步驟，所述測試步驟包括：

第一步，取刻蝕即背面堿拋后的硅片，順著打孔的位置將孔1/2位置平均分成2塊；

第二步，將孔位置放在3D顯微鏡下，用5倍物鏡，燈光亮度26%-30%找到打孔側面位置；

第三步，將打孔位置移至光標中心；

第四步，調整物鏡50倍，燈光亮度12%-16%，測試模式Zeta 3D模式測試孔內3D圖片；

第五步，選擇直線，拉取孔內過刻長度及硅片厚度；

第六步，計算孔內過刻比，孔內過刻比=過刻長度/硅片厚度，控制孔內過刻比為硅片橫截面積的0-50%；

所述調整步驟包括：

第一步，確認去PSG藥液濃度，電導率控制在20-60ms/cm；

第二步，去PSG的HF藥液濃度控制在5%-30%，若過刻比大，則減少HF補加，漏刻則反之；

第三步，調整正面水膜覆蓋量，過刻則增大水膜量，漏刻則反之；

第四步：槽體液位高度通過調節泵的功率或調整槽體擋板高度來控制，泵功率控制在20%-60%。