[發明專利]一種半導體高精洗裝置

有效

• 申請號: 202010021659.0
• 申請日: 2020-01-09
• 公開（公告）號: CN111069156B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 吳果;丁玉清;劉展波;李輝;張欣欣;熊盼龍
• 申請（專利權）人: 深圳市鑫承諾環保產業股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 深圳知幫辦專利代理有限公司 44682
• 代理人: 譚慧

1.一種半導體高精洗裝置，包括第一橫板（1）、箱體（2）和排水管（6），所述第一橫板（1）的上表面固接有箱體（2），所述箱體（2）的下方內部連通有排水管（6），所述排水管（6）的下方貫穿第一橫板（1），所述排水管（6）與第一橫板（1）和箱體（2）過盈配合，其特征在于：所述第一橫板（1）的上表面右側安裝有清洗裝置（3）；所述清洗裝置（3）包括水泵（301）、第一水管（302）、第二水管（303）、橫桿（304）和噴頭（305）；左右所述水泵（301）的下表面與第一橫板（1）的上表面固定相連，左右所述水泵（301）的進水口處固接有第一水管（302），左右所述第一水管（302）的內側貫穿箱體（2）的左右兩側下方，左右所述第一水管（302）的外壁與箱體（2）過盈配合，左右所述水泵（301）的出水口處固接有第二水管（303），左右所述第二水管（303）的內側貫穿箱體（2）的左右兩側中間，左右所述第二水管（303）的外壁與箱體（2）過盈配合，左右所述第二水管（303）的上方外壁固接有橫桿（304），左右所述橫桿（304）的外側與箱體（2）的左右兩側上方內壁固定相連，左右所述第二水管（303）的上方內側固接有多個噴頭（305），左右所述多個噴頭（305）與第二水管（303）相連通;

其中，所述第一橫板（1）的上表面左側安裝有升降裝置（4）；所述升降裝置（4）包括第一弧形塊（401）、豎桿（402）、套筒（403）、第二弧形塊（404）、電動推桿（405）、第三弧形塊（406）、第二橫板（407）和彈簧（408）；所述第一弧形塊（401）的下表面與第一橫板（1）的上表面固定相連，所述第一弧形塊（401）的后端面通過轉軸轉動連接有豎桿（402），所述豎桿（402）的中間外壁套接有套筒（403），所述套筒（403）的內壁與豎桿（402）的外壁間隙配合，所述套筒（403）的前端面通過轉軸轉動連接有第二弧形塊（404），所述第二弧形塊（404）的下表面固接有電動推桿（405），所述電動推桿（405）的下方通過轉軸轉動連接有第三弧形塊（406），所述第三弧形塊（406）的下表面與第一橫板（1）的上表面固定相連，所述豎桿（402）的上表面固接有第二橫板（407），所述豎桿（402）的上方外壁套接有彈簧（408），所述彈簧（408）的上下兩側分別與第二橫板（407）的下表面和套筒（403）的上表面固定相連;

其中，所述套筒（403）的右側安裝有固定裝置（5）；所述固定裝置（5）包括第三橫板（501）、凹形板（502）、雙向螺紋桿（503）、把手（504）、豎板（505）、方形塊（506）、橡膠墊（507）和工件（508）；所述第三橫板（501）的左側與套筒（403）的右側固定相連，所述第三橫板（501）的右側固接有凹形板（502），所述凹形板（502）的前端面左側內壁轉動連接有雙向螺紋桿（503），所述雙向螺紋桿（503）的右側貫穿凹形板（502）的前端面右側內壁，所述雙向螺紋桿（503）的右側外壁與凹形板（502）的前端面右側通孔處間隙配合，所述雙向螺紋桿（503）的右側固接有把手（504），所述雙向螺紋桿（503）的螺紋處螺紋連接有多個豎板（505），左右所述豎板（505）的下表面固接有方形塊（506），左右所述方形塊（506）的內側固接有橡膠墊（507），左右所述橡膠墊（507）的內側安裝有工件（508），所述工件（508）的左右兩側外壁與橡膠墊（507）的內側相貼合;

其中，左右所述豎板（505）以雙向螺紋桿（503）的中點為中心呈對稱分布；所述凹形板（502）與第一橫板（1）相互平行。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：左右所述多個噴頭（305）呈等距排列。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述豎桿（402）與第一橫板（1）相互垂直。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述第一弧形塊（401）與第二弧形塊（404）的寬度尺寸一致。

5.一種基于權利要求1所述裝置的半導體高精洗方法，其特征在于：當操作人員需要使用半導體高精洗裝置時，首先操作人員擰動把手(504)，通過把手（504）帶動雙向螺紋桿（503）進行轉動，使雙向螺紋桿（503）帶動豎板（505）進行移動，豎板（505）帶動方形塊（506）進行移動，對工件（508）進行夾緊，接通電動推桿（405）的外接電源，啟動電動推桿（405），通過電動推桿（405）帶動第二弧形塊（404）進行移動，第二弧形塊（404）帶動套筒（403）進行移動，使套筒（403）帶動第三橫板（501）進行移動，第三橫板（501）帶動凹形板（502）進行移動，將工件（508）帶到適當位置，這樣就達到了防止人工用手清洗出現化學液飛濺而受傷的目的，接通水泵（301）的外接電源，啟動水泵（301），使水泵（301）通過第一水管（302）將箱體（2）中的化學液吸入，在將化學液排入第二水管（303）中，第二水管（303）通過噴頭（305）將化學液噴出，這樣便達到了自動清洗的目的。