[發明專利]單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝

在審

• 申請號: 202010013167.7
• 申請日: 2020-01-07
• 公開（公告）號: CN111072380A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 曾墩風;王志強;陶成;黃劍
• 申請（專利權）人: 蕪湖映日科技有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;B24B1/00;B28B3/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 張素慶

本發明的目的是提供一種單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，采用制粉?粉處理?造粒?成型?燒結?機加工?綁定?檢驗共八個步驟；其中步驟三造粒采用超細研磨機，將混合漿料磨到0.5um以下，再增加黏結劑，后將粉末通過噴霧造粒機，制成球形分布均勻流動性好的粉末，靶材長對粉末要求高，如果不是流動性粉，靶材密度不均勻；步驟四采用專用聚氨酯模具，通過一米以上長的內腔和防水且有彈性的外罩制得素胚，步驟五燒結采用底部同步收縮原理，減少在高溫爐內收縮產生不均，變形的問題，步驟六外圓磨采用氣漲軸和外漲鍵條撐起靶材進行磨外圓，減少外圓磨的振動，保證其質量，整個工藝行業旋轉ITO靶材長度最長500mm提升到一米以上，大大的提升了客戶使用良率，降低了成本，競爭優勢明顯。

技術領域

本發明涉及旋轉ITO靶材制備領域，尤其涉及一種單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝。

背景技術

面版行業，旋轉ITO靶材，因工藝限制，一直只能生產300-500mm長度的靶材，使用時是采用拼接的方式，例如8.5代線靶材規格是2940mm長度，如果單節長度較短只有300-500的話，則拼接節數很多，有些廠家生產到7節、8節拼接，在客戶使用時，拼接縫容易積聚灰塵，造成客戶應用問題。隨著客戶產品要求越來越高，要求靶材拼接數達到三節，只有兩個間隙。因此研發出長度為一米長度靶材，猶為重要。

發明內容

為解決上述問題，本發明提供一種單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，采用制粉-粉處理-造粒-成型-燒結-機加工-綁定-檢驗共八個步驟，其中步驟三造粒采用超細研磨機，將混合漿料磨到0.5um以下，再增加黏結劑，后將粉末通過噴霧造粒機，制成球形分布均勻流動性好的粉末，步驟四采用專用聚氨酯模具，通過一米以上長的內腔和防水且有彈性的外罩制得素胚，步驟五燒結采用底部同步收縮原理，減少在高溫爐內收縮產生不均，變形的問題，步驟六外圓磨采用氣漲軸和外漲鍵條撐起靶材進行磨外圓，減少外圓磨的振動，保證其質量，整個工藝行業旋轉ITO靶材長度最長500mm提升到一米以上，大大的提升了客戶使用良率，降低了成本，解決了背景技術中出現的問題。

本發明的目的是提供一種單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，包括有：制粉-粉處理-造粒-成型-燒結-機加工-綁定-檢驗；

具體步驟如下：

步驟一：在密閉容器內，用純度為99.999%的金屬銦和濃度為68%的電子級濃硝酸反應生成硝酸銦，再加入濃度為20%-28%的氨水，生成氫氧化銦沉淀，再將氫氧化銦沉淀通過中和洗滌得到高純的氫氧化銦粉末，氫氧化銦粉末經過燒培、混合、篩分后得到氧化銦粉末（In₂O₃）；

步驟二：在密閉容器內的條件下，使錫與硝酸充分反應生成偏錫酸沉淀，偏錫酸沉淀經中和洗滌、干燥得到偏錫酸粉末，偏錫酸經燒培、破碎、球磨后得二氧化錫粉末（SnO₂）產品；

步驟三：將步驟一和步驟二所得的粉末按90:10的比例進行混合、球磨、噴霧造粒后得到納米級ITO粉末；采用超細研磨機，將混合漿料磨到0.5um以下，再增加黏結劑，后將粉末通過噴霧造粒機，制成球形分布均勻流動性好的粉末；

步驟四：將步驟三制備好的ITO粉末裝于聚氨酯模具中，用冷等靜壓設備進行成型，制成一米以上長的ITO素胚；

步驟五：將步驟四中的ITO素胚置于高溫氧氣燒結爐中進行燒結，制成一米以上長的高密度ITO靶材中間物；將一米以上長形的旋轉ITO采用底部同步收縮原理，減少在高溫爐內收縮產生不均，變形的問題，燒結爐內的墊板底部采用粗的球形耐高溫鋼玉砂，在鋼玉砂上放置四塊三角形板，三角形板上再放細的球形耐高溫鋼玉砂，最后將步驟四中素胚放置在其上；

步驟六：將一米以上長的高密度ITO靶材中間物進行內外圓磨、磨邊機加工；

步驟七：將經過步驟六加工后的一米以上長的高密度ITO靶材中間物綁定于鈦管外表面；