[發明專利]單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝

在審

• 申請號: 202010013167.7
• 申請日: 2020-01-07
• 公開（公告）號: CN111072380A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 曾墩風;王志強;陶成;黃劍
• 申請（專利權）人: 蕪湖映日科技有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;B24B1/00;B28B3/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 張素慶

1.一種單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，其特征在于：包括有：制粉-粉處理-造粒-成型-燒結-機加工-綁定-檢驗；

具體步驟如下：

步驟一：在密閉容器內，用純度為99.999%的金屬銦和濃度為68%的電子級濃硝酸反應生成硝酸銦，再加入濃度為20%-28%的氨水，生成氫氧化銦沉淀，再將氫氧化銦沉淀通過中和洗滌得到高純的氫氧化銦粉末，氫氧化銦粉末經過燒培、混合、篩分后得到氧化銦粉末（In₂O₃）；

步驟二：在密閉容器內的條件下，使錫與硝酸充分反應生成偏錫酸沉淀，偏錫酸沉淀經中和洗滌、干燥得到偏錫酸粉末，偏錫酸經燒培、破碎、球磨后得二氧化錫粉末（SnO₂）產品；

步驟三：將步驟一和步驟二所得的粉末按90:10的比例進行混合、球磨、噴霧造粒后得到納米級ITO粉末；采用超細研磨機，將混合漿料磨到0.5um以下，再增加黏結劑，后將粉末通過噴霧造粒機，制成球形分布均勻流動性好的粉末；

步驟四：將步驟三制備好的ITO粉末裝于聚氨酯模具中，用冷等靜壓設備進行成型，制成一米以上長的ITO素胚；

步驟五：將步驟四中的ITO素胚置于高溫氧氣燒結爐中進行燒結，制成一米以上長的高密度ITO靶材中間物；將一米以上長形的旋轉ITO采用底部同步收縮原理，減少在高溫爐內收縮產生不均，變形的問題，燒結爐內的墊板底部采用粗的球形耐高溫鋼玉砂，在鋼玉砂上放置四塊三角形板，三角形板上再放細的球形耐高溫鋼玉砂，最后將步驟四中素胚放置在其上；

步驟六：將一米以上長的高密度ITO靶材中間物進行內外圓磨、磨邊機加工；

步驟七：將經過步驟六加工后的一米以上長的高密度ITO靶材中間物綁定于鈦管外表面；

步驟八：對步驟七制得靶材進行檢驗。

2.如權利要求1所述單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，其特征在于：所述步驟四采用專用聚氨酯模具設備，壓制成一米以上長的素胚，模具包括有一米以上長的內腔和防水且有彈性的外罩，通過聚氨酯蓋蓋合，通過卡箍和鎖緊裝置鎖緊。

3.如權利要求1所述單節長度一米以上的旋轉ITO靶材制備工藝，其特征在于：所述步驟六采用治具進行加工，外圓磨采用帶有外漲鍵條的氣漲軸，靶材套在氣漲軸上，對氣漲軸進氣，使得外漲鍵條撐起靶材，再進行磨外圓。