[發(fā)明專利]一種光接收次模塊及其被動對位方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010010434.5 | 申請日： | 2020-01-06 |
| 公開（公告）號： | CN113075764A | 公開（公告）日： | 2021-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 藤田貴久 | 申請（專利權(quán)）人： | 晶連股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/12 | 分類號： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11139 | 代理人： | 侯奇慧 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 接收 模塊 及其 被動 對位 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種平面光波導芯片與光電二極管芯片組成的光接收次模塊及其被動對位方法。其中光接收次模塊包括一承載板、設(shè)置于承載板之上的一平面光波導芯片、一支撐板與多個光電二極管芯片。平面光波導芯片包括一基板與一平面光波導。平面光波導包括鄰近于一輸入端的一輸入光波導芯、鄰近于一輸出端的多個輸出光波導芯、分別與輸入光波導芯與多個輸出光波導芯相連接一光耦合部、與形成于平面光波導芯片所具有的一輸出端側(cè)面的一反射面鏡。輸出端側(cè)面與平面光波導芯片的一上表面之間具有一銳角夾角，且兩者交匯形成一輸出端邊緣。輸出端邊緣包含每一個輸出光波導芯所具有的一輸出端面。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是關(guān)于一種光接收次模塊改良結(jié)構(gòu)，尤指一種在平面光波導芯片與光電二極管芯片之間具有一支撐板的光接收次模塊及其被動對位方法。
背景技術(shù)
請參閱圖5A，其為現(xiàn)有技術(shù)的光接收次模塊的一具體實施例的俯視示意圖。現(xiàn)有技術(shù)的光接收次模塊9包括一封裝盒體90、一毛細管(Capillary)光纖輸入端91、一平面光波導芯片92、一光電二極管芯片陣列93、一轉(zhuǎn)換阻抗放大器(TIA：TransimpedanceAmplifier)940以及一射頻電路板(RF Circuits Board)941。請同時參閱圖5B，其為現(xiàn)有技術(shù)圖5A的具體實施例沿著剖面線E-E’的剖面示意圖。封裝盒體90具有一承載板901。平面光波導芯片92設(shè)置于承載板901之上。請同時參閱圖5C，其為現(xiàn)有技術(shù)圖5B的具體實施例的局部放大剖面示意圖。平面光波導芯片92包括一基板924、一平面光波導95、一下披覆層925以及一反射面鏡96。平面光波導95形成于基板924之下。平面光波導95包括一輸入光波導芯951、一光耦合部952以及四個輸出光波導芯953、954、955、956。輸入光波導芯951位于鄰近平面光波導芯片92的一輸入端920。四個輸出光波導芯953、954、955、956位于鄰近平面光波導芯片92的一輸出端921。光耦合部952位于輸入光波導芯951以及四個輸出光波導芯953、954、955、956之間，其中光耦合部952分別與輸入光波導芯951以及四個輸出光波導芯953、954、955、956相連接。毛細管光纖輸入端91具有一輸入光纖910。毛細管光纖輸入端91與平面光波導芯片92的輸入端920以及基板924相連接，使得輸入光波導芯951與輸入光纖910相連接。下披覆層925形成于基板924以及平面光波導95(包括輸入光波導芯951、光耦合部952以及四個輸出光波導芯953、954、955、956)之上，且覆蓋住平面光波導95(包括輸入光波導芯951、光耦合部952以及四個輸出光波導芯953、954、955、956)的一外表面(圖中未顯示)。平面光波導芯片92的輸出端921具有一輸出端側(cè)面923。輸出端側(cè)面923包含四個輸出光波導芯953、954、955、956所分別具有的一輸出端面。其中反射面鏡96形成于輸出端側(cè)面923上(亦即反射面鏡96形成于四個輸出光波導芯953、954、955、956所分別具有的輸出端面上)。輸出端側(cè)面923與平面光波導芯片92的一下表面922之間具有一夾角97。夾角97為一銳角。光電二極管芯片陣列93包括四個光電二極管芯片930、931、932、933，其中四個光電二極管芯片930、931、932、933形成于一半導體基板94之上。四個光電二極管芯片930、931、932、933分別相對應于四個輸出光波導芯953、954、955、956。當一輸入光信號由輸入光纖910輸入至輸入光波導芯951，再由輸入光波導芯951輸入而傳導至光耦合部952，經(jīng)由光耦合部952將輸入光信號分波成多個輸出光信號，從而分別傳導至四個輸出光波導芯953、954、955、956；而多個輸出光信號再分別經(jīng)由輸出端側(cè)面923上的反射面鏡96的反射后穿過下披覆層925以及一空氣間隙98，再分別由相對應于四個輸出光波導芯953、954、955、956的四個光電二極管芯片930、931、932、933所接收。其中四個光電二極管芯片930、931、932、933經(jīng)由一連接電路943分別與轉(zhuǎn)換阻抗放大器940電性連接。轉(zhuǎn)換阻抗放大器940經(jīng)由一連接電路942與射頻電路板941電性連接。
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