[發明專利]一種新型的SE Mark點圖形結構及其制備方法

在審

• 申請號: 202010009929.6
• 申請日: 2020-01-06
• 公開（公告）號: CN111370391A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 王建
• 申請（專利權）人: 橫店集團東磁股份有限公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L31/18
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

本發明公開了一種新型的SE Mark點圖形結構及其制備方法，克服現有技術的圖形容易遇到同一區域二次加工造成Mark點損傷成本高穩定性低制作時間長的問題，包括硅片和若干Mark點，所述Mark點為十字形結構，Mark點被鐳射在硅片的四個角區用于PERC疊加選擇性發射極技術。本發明通過特殊的Mark點能夠在生產過程中提高生產效率提高產能，減少設備報警次數，將制作時間大大縮短，這種制備方法便于設備識別，工業化生產過程中穩定性好，設備完全兼容，激光鐳射出四個十字形Mark點，以得到更好的對位點形貌和方便識別，打標過程橫線和豎線之間不會重疊打標，印刷時設備相機更容易識別，減少報警次數，有效提高工業化生產效能。

技術領域

本發明涉及激光打標技術領域，尤其是涉及一種打標過程中防止重疊達標防止損傷Mark點、印刷時設備相機更佳容易識別減少報警次數、加工工藝簡單減少加工時間同時提高產能的新型的SE Mark點圖形結構及其制備方法。

背景技術

太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源.也是清潔能源，不產生任何的環境污染。在太陽能的有效利用當中;太陽能光電利用是近些年來發展最快，最具活力的研究領域， 是其中最受矚目的項目之一。為此，人們研制和開發了太陽能電池。制作太陽能電池主要是以半導體材料為基礎，其工作原理是利用光電材料吸收光能后發生光電子轉換反應，根據所用材料的不同。隨著晶硅電池科學與技術的發展，PERC電池已經逐漸成為市場主流，在未來幾年的發展中PERC電池及PERC疊加新技術電池會逐漸成熟，走向工業化生產，PERC疊加SE技術是一種有效的提升電池效率的技術路徑，也是一種容易實現，耗費成本較低的一種技術手段，其中疊加SE技術是通過激光摻雜技術實現的，其中激光摻雜圖形Mark點是該技術的一個關鍵點。

在用激光制作選擇性發射極結構中，需要打出電池在印刷時的對位Mark點，一般需要四個在固定位置的MARK點，分別位于硅片的四個角區域，這四個Mark點是相互獨立的，制作過程中需要激光器單獨打標，Mark點打標時間的長短影響整臺設備的產量，因此選擇合適的Mark圖形是提高產能，增加收入的很重要一部分。目前行業內制作SE電池片的mark點結構采用的激光都是方形光斑且光斑直徑為120um，同心圓圖形外圓直徑為500um，內部共有4-5個圓，激光打標的時候會在內部兩圓交界處重疊打標，這樣同一位置經過兩次激光打標之后會出現損傷的情況,在絲印相機下就容易被不識別造成設備報警，且會在一定程度對電池片的轉換效率造成影響。常規的對準Mark點制作圖形是一組同心圓，該圖形雖然可以實現圓形Mark點，但是缺陷是：容易重復打標損傷硅片，同時制作Mark點需耗費0.2s時間，影響產線產能。

發明內容

本發明是為了克服現有技術的圖形容易遇到同一區域二次加工造成Mark點損傷成本高穩定性低制作時間長的問題，提供一種新型的SE Mark點圖形結構及其制備方法，本發明的Mark點圖形可以避免常規Mark圖形遇到同一區域二次加工的問題，減少Mark點處的損傷，該圖形可以和現有激光摻雜設備完全兼容，極大的降低了成本，且工業化生產過程中穩定性好，制作時間≤0.1s，大大縮短了整個激光打標的時間，提升了產能。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種新型的SE Mark點圖形結構，包括硅片和若干Mark點，所述Mark點為十字形結構，Mark點被鐳射在硅片的四個角區用于PERC疊加選擇性發射極技術。十字形的Mark點圖形避免常規的同心圓形Mark點圖形遇到同一區域進行二次加工的問題，減少了Mark點的損傷，十字Mark點圖形能夠和現有激光摻雜設備兼容，且縮短了激光打標的時間大大提高了產能，且十字Mark點圖形更佳容易被設備相機在印刷過程中識別，減少報警的次數加工工藝簡單。

作為優選，所述Mark點圖形結構包括兩條相互垂直的直線，其中一條直線帶有缺口，缺口穿過另一條直線。缺口可以防止兩條垂直的直線重疊導致的Mark點上的區域重復打標帶來的損傷。

一種新型的SE Mark點圖形結構的制備方法，包括以下步驟：