[發(fā)明專利]進(jìn)氣系統(tǒng)和進(jìn)氣方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010006830.0
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號(hào): CN111180365B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周厲穎
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種進(jìn)氣系統(tǒng)，用于向半導(dǎo)體設(shè)備的工藝腔室輸送工藝氣體，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括載氣管路、工藝氣體源瓶、工藝氣體出氣管路、排氣管路以及保護(hù)組件；其中，

所述載氣管路的第一端用于與載氣源瓶連接，所述載氣管路的第二端與所述排氣管路的進(jìn)氣端連接，所述載氣管路的第三端用于向所述工藝氣體源瓶中通入載氣；所述排氣管路的出氣端用于向尾氣處理裝置排放氣體；

所述工藝氣體出氣管路的第一端插置在所述工藝氣體源瓶中，所述工藝氣體出氣管路的第二端與所述工藝腔室進(jìn)氣口連通；

所述保護(hù)組件串接在所述載氣管路的第二端與所述排氣管路的進(jìn)氣端之間，所述保護(hù)組件用于在所述載氣管路內(nèi)的壓力不小于所述工藝氣體源瓶的耐壓閾值時(shí)，將所述載氣管路與所述排氣管路導(dǎo)通，并發(fā)出報(bào)警提示；

所述保護(hù)組件包括單向?qū)土髁繖z測件；其中，

所述單向?qū)牡谝欢伺c所述載氣管路的第二端連接，所述單向?qū)牡诙伺c所述流量檢測件的第一端連接；

所述流量檢測件的第二端與所述排氣管路的進(jìn)氣端連接；

所述單向?qū)退隽髁繖z測件用于當(dāng)所述載氣管路內(nèi)的壓力不小于所述工藝氣體源瓶的耐壓閾值時(shí)，將所述載氣管路與所述排氣管路導(dǎo)通，且所述流量檢測件用于在檢測其所在的管路有氣體流過時(shí)，發(fā)出報(bào)警信號(hào)；

所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括第一清掃管路；其中，

所述第一清掃管路的一端連接于所述載氣管路靠近所述工藝氣體源瓶的一端，另一端連接于所述工藝氣體出氣管路靠近所述工藝氣體源瓶的一端；

所述第一清掃管路上依次串聯(lián)設(shè)置有第五開關(guān)閥和第三單向閥，以使載氣能夠通過所述第五開關(guān)閥以及所述第三單向閥進(jìn)入到所述排氣管路中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述單向?qū)榈谝粏蜗蜷y，所述第一單向閥的開啟壓力值等于所述工藝氣體源瓶的耐壓閾值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任意一項(xiàng)所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括輔助工藝氣體進(jìn)氣管路；其中，

所述輔助工藝氣體進(jìn)氣管路的第一端用于輸入輔助工藝氣體，所述輔助工藝氣體進(jìn)氣管路的第二端分別與所述工藝氣體出氣管路的第二端以及所述工藝腔室連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括第二清掃管路；其中，

所述第二清掃管路的一端連接于所述工藝氣體出氣管路遠(yuǎn)離所述工藝氣體源瓶的一端，另一端連接于所述排氣管路的出氣端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述載氣管路上靠近所述工藝氣體源瓶的一端設(shè)置有第一開關(guān)閥；所述工藝氣體出氣管路上依次串接有第二開關(guān)閥和第三開關(guān)閥；所述第二清掃管路上依次串聯(lián)設(shè)置有第四開關(guān)閥和第二單向閥；其中，

所述第五開關(guān)閥的進(jìn)氣端與所述第一開關(guān)閥的進(jìn)氣端連接，所述第三單向閥的出氣端與所述第二開關(guān)閥的出氣端連接；

所述第四開關(guān)閥的進(jìn)氣端與所述第三開關(guān)閥的進(jìn)氣端連接，所述第二單向閥的出氣端與所述排氣管路的出氣端連接，且所述第三開關(guān)閥設(shè)置于所述工藝氣體出氣管路上靠近所述工藝腔室的一端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述載氣管路上依次串聯(lián)設(shè)置有手閥、調(diào)壓閥、限流器、壓力傳感器、流量控制器、氣動(dòng)閥和過濾器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任意一項(xiàng)所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括載氣旁路，所述載氣旁路的一端與所述載氣源瓶連接，另一端與所述工藝氣體出氣管路靠近所述工藝氣體源瓶的一端連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述載氣旁路上依次串聯(lián)設(shè)置有手閥、調(diào)壓閥、壓力傳感器和開關(guān)閥。

9.一種進(jìn)氣方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述進(jìn)氣系統(tǒng)，所述進(jìn)氣方法包括：

S110、載氣經(jīng)由載氣管路進(jìn)入工藝氣體源瓶中；

S120、獲取載氣管路內(nèi)的壓力并判斷該壓力是否大于所述工藝氣體源瓶的耐壓閾值，若是，則執(zhí)行步驟S130，若否，則執(zhí)行步驟S140；

S130、載氣經(jīng)由保護(hù)組件和排氣管路排出，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)；

S140、進(jìn)入工藝氣體源瓶內(nèi)的載氣攜帶工藝氣體經(jīng)由工藝氣體出氣管路進(jìn)入工藝腔室。