[發(fā)明專利]掩膜板組件及制作掩膜板組件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010006103.4
• 申請(qǐng)日: 2020-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111041416B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嵇鳳麗;樸進(jìn)山;朱藝丹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 劉繼昂

本發(fā)明公開(kāi)了一種掩膜板組件及制作掩膜板組件的方法，掩膜板組件，包括：金屬框架，金屬框架具有第一作業(yè)窗口；金屬板，金屬板與金屬框架層疊設(shè)置，金屬板與金屬框架連接，金屬板的部分與第一作業(yè)窗口相對(duì)，金屬板上設(shè)有第二作業(yè)窗口，第二作業(yè)窗口的外輪廓位于第一作業(yè)窗口的外輪廓內(nèi)；精細(xì)金屬掩膜板，精細(xì)金屬掩膜板與金屬板層疊設(shè)置且位于金屬板的遠(yuǎn)離金屬框架的一側(cè)，精細(xì)金屬掩膜板僅與金屬框架連接以封擋第二作業(yè)窗口。根據(jù)本發(fā)明的掩膜板組件，可以改善精細(xì)金屬掩膜板出現(xiàn)褶皺的情況。另外，可以改善本體與精細(xì)金屬掩膜板之間存在藥液殘留的情況。另外，可以改善金屬板的波動(dòng)帶動(dòng)精細(xì)金屬掩膜板而導(dǎo)致精細(xì)金屬掩膜板出現(xiàn)褶皺的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示設(shè)備加工領(lǐng)域，尤其是涉及一種掩膜板組件及制作掩膜板組件的方法。

背景技術(shù)

相關(guān)技術(shù)中，隨著顯示設(shè)備屏幕例如手機(jī)屏幕市場(chǎng)多元化，顯示屏的形狀已經(jīng)不是中規(guī)中矩的長(zhǎng)方形，而是很多形狀，例如AA(Active Area)區(qū)四角倒圓角，上邊框帶挖槽區(qū)，這對(duì)傳統(tǒng)的直線型支撐覆蓋結(jié)構(gòu)加FMM(Fine Metal Mask，精細(xì)金屬掩膜板)的方式提出了很大的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)的矩形屏幕AA區(qū)像素FMM開(kāi)口也是傳統(tǒng)的直線排布，而倒圓角的屏幕或者有挖槽的屏幕AA區(qū)像素FMM開(kāi)口也是異形，如果將不需要蒸鍍上材料的位置FMM不設(shè)計(jì)開(kāi)口，這對(duì)FMM應(yīng)力分布勢(shì)必會(huì)有影響，如果將不需要蒸鍍材料的位置FMM設(shè)計(jì)開(kāi)口，傳統(tǒng)的覆蓋結(jié)構(gòu)和支撐結(jié)構(gòu)是直線型的，無(wú)法遮擋倒角處材料的蒸鍍。

針對(duì)以上問(wèn)題，將不需要蒸鍍材料的位置FMM設(shè)計(jì)開(kāi)口，將傳統(tǒng)的覆蓋結(jié)構(gòu)換成金屬板上設(shè)置開(kāi)口加上FMM的方式進(jìn)行，而傳統(tǒng)的金屬板上設(shè)置開(kāi)口加FMM方式會(huì)存在清洗藥液殘留和FMM焊接在金屬板上，而非框架上，F(xiàn)MM易產(chǎn)生褶皺。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明提出一種掩膜板組件，所述掩膜板組件可以改善精細(xì)金屬掩膜板發(fā)生褶皺的情況。

本發(fā)明還提出一種制作掩膜板組件的方法，所述掩膜板組件為上述掩膜板組件。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的掩膜板組件，包括：金屬框架，所述金屬框架具有第一作業(yè)窗口；金屬板，所述金屬板與所述金屬框架層疊設(shè)置，所述金屬板包括本體，所述本體與所述第一作業(yè)窗口相對(duì)且所述本體的外輪廓位于所述第一作業(yè)窗口的外輪廓內(nèi)，所述本體上設(shè)有第二作業(yè)窗口，所述第二作業(yè)窗口的外輪廓位于所述第一作業(yè)窗口的外輪廓內(nèi)，所述本體的外周緣設(shè)有多個(gè)連接柱，多個(gè)所述連接柱沿所述本體的周向方向間隔開(kāi)，所述連接柱的至少部分與所述金屬框架相對(duì)，所述金屬框架上設(shè)有多個(gè)與所述連接柱配合的凹槽，多個(gè)所述凹槽與多個(gè)所述連接柱一一對(duì)應(yīng)，所述連接柱位于所述凹槽內(nèi)且與所述金屬框架焊接連接；精細(xì)金屬掩膜板，所述精細(xì)金屬掩膜板與所述金屬板層疊設(shè)置且位于所述金屬板的遠(yuǎn)離所述金屬框架的一側(cè)，所述精細(xì)金屬掩膜板僅與所述金屬框架的位于相鄰的兩個(gè)所述連接柱之間的區(qū)域焊接連接以封擋所述第二作業(yè)窗口。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的掩膜板組件，通過(guò)在金屬板的本體的外周緣設(shè)置多個(gè)間隔開(kāi)的連接柱，并在金屬框架上設(shè)置多個(gè)與連接柱配合的凹槽，可以使得連接柱下沉到凹槽內(nèi)，可以降低精細(xì)金屬掩膜板與金屬框架之間的距離，便于精細(xì)金屬掩膜板焊接在金屬框架上，提高精細(xì)金屬掩膜板固定的可靠性，改善精細(xì)金屬掩膜板出現(xiàn)褶皺的情況。另外，可以避免精細(xì)金屬掩膜板上未設(shè)開(kāi)口的部分與本體具有重疊區(qū)域，可以改善本體與精細(xì)金屬掩膜板之間存在藥液殘留的情況。

另外，掩膜板組件在蒸鍍的過(guò)程中，金屬板會(huì)出現(xiàn)上下方向的波動(dòng)，而使得精細(xì)金屬掩膜板僅與金屬框架的位于相鄰的兩個(gè)連接柱之間的區(qū)域焊接連接而不與金屬板連接，可以改善金屬板的波動(dòng)帶動(dòng)精細(xì)金屬掩膜板而導(dǎo)致精細(xì)金屬掩膜板出現(xiàn)褶皺的情況，提高掩膜板組件工作的可靠性。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述本體的外輪廓與所述第一作業(yè)窗口的外輪廓相同，所述本體的外周壁與所述第一作業(yè)窗口的內(nèi)周壁貼合。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述第二作業(yè)窗口為間隔開(kāi)的多個(gè)。