[發明專利]掩膜板組件及制作掩膜板組件的方法

有效

• 申請號: 202010006103.4
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號: CN111041416B
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 嵇鳳麗;樸進山;朱藝丹
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 劉繼昂

1.一種掩膜板組件，其特征在于，包括：

金屬框架，所述金屬框架具有第一作業窗口；

金屬板，所述金屬板與所述金屬框架層疊設置，所述金屬板包括本體，所述本體與所述第一作業窗口相對且所述本體的外輪廓位于所述第一作業窗口的外輪廓內，所述本體上設有第二作業窗口，所述第二作業窗口的外輪廓位于所述第一作業窗口的外輪廓內，所述本體的外周緣設有多個連接柱，多個所述連接柱沿所述本體的周向方向間隔開，所述連接柱的至少部分與所述金屬框架相對，所述金屬框架上設有多個與所述連接柱配合的凹槽，多個所述凹槽與多個所述連接柱一一對應，所述連接柱位于所述凹槽內且與所述金屬框架焊接連接，所述凹槽的深度為H，所述連接柱的厚度為h，且滿足：H≥h；

精細金屬掩膜板，所述精細金屬掩膜板與所述金屬板層疊設置且位于所述金屬板的遠離所述金屬框架的一側，所述精細金屬掩膜板僅與所述金屬框架的位于相鄰的兩個所述連接柱之間的區域焊接連接以封擋所述第二作業窗口。

2.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述本體的外輪廓與所述第一作業窗口的外輪廓相同，所述本體的外周壁與所述第一作業窗口的內周壁貼合。

3.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述第二作業窗口為間隔開的多個。

4.根據權利要求3所述的掩膜板組件，其特征在于，所述精細金屬掩膜板為多個，每個所述精細金屬掩膜板封擋至少一個所述第二作業窗口。

5.根據權利要求4所述的掩膜板組件，其特征在于，多個所述第二作業窗口成多行多列排布，多個所述精細金屬掩膜板與多列所述第二作業窗口一一對應，每個所述精細金屬掩膜板封擋每列所述第二作業窗口中的多個所述第二作業窗口，所述精細金屬掩膜板長度方向的兩端與所述金屬框架的位于相鄰的兩個所述連接柱之間的區域焊接連接。

6.根據權利要求5所述的掩膜板組件，其特征在于，沿所述第二作業窗口的行延伸方向，相鄰兩列所述第二作業窗口之間均設有兩個沿所述第二作業窗口的列延伸方向延伸的所述連接柱，兩個所述連接柱分別位于所述第二作業窗口列延伸方向的兩端，位于所述第二作業窗口的行延伸方向兩端的位置均設有兩個沿所述第二作業窗口的列延伸方向延伸的所述連接柱，兩個所述連接柱分別位于所述第二作業窗口列延伸方向的兩端。

7.根據權利要求6所述的掩膜板組件，其特征在于，沿所述第二作業窗口的列延伸方向，相鄰兩行所述第二作業窗口之間均設有兩個沿所述第二作業窗口的行延伸方向延伸的所述連接柱，兩個所述連接柱分別位于所述第二作業窗口行延伸方向的兩端，位于所述第二作業窗口的列延伸方向兩端的位置均設有兩個沿所述第二作業窗口的行延伸方向延伸的所述連接柱，兩個所述連接柱分別位于所述第二作業窗口行延伸方向的兩端。

8.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述H和h滿足：H-h≥10μm。

9.一種制作掩膜板組件的方法，其特征在于，所述掩膜板組件為根據權利要求1-8中任一項所述的掩膜板組件，所述制作方法包括：

制作設有第一作業窗口的金屬框架主體，在所述金屬框架主體上設置多個凹槽，多個所述凹槽沿所述第一作業窗口的周向方向間隔設置；

制作本體，并在所述本體上設置所述第二作業窗口，使得所述第二作業窗口的外輪廓位于所述第一作業窗口的外輪廓內，在所述本體的外周緣設置多個連接柱，多個所述連接柱與多個所述凹槽一一對應；

將精細金屬掩膜板與所述金屬板層疊設置且使得所述精細金屬掩膜板位于所述金屬板的遠離所述金屬框架的一側，將所述精細金屬掩膜板焊接在所述金屬框架的位于相鄰兩個所述連接柱之間的區域上。