[發(fā)明專利]一種晶圓鍵合機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010005482.5
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號: CN113078074A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張落成
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發(fā)明涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開一種晶圓鍵合機。該晶圓鍵合機包括底座、上蓋、第一載臺和第二載臺，底座上設(shè)置有頂面開口的容納腔，上蓋能夠封閉或打開容納腔的開口。第一載臺固定設(shè)置在容納腔中，第一載臺上設(shè)置有與襯片相適配的第一定位槽，第一定位槽的槽底設(shè)置有避讓孔。第二載臺可升降地設(shè)置在容納腔中，第二載臺上設(shè)置有與涂有鍵合膠的晶圓相適配的第二定位槽，且第二定位槽與第一定位槽同心，第二載臺能夠帶動晶圓上升并使晶圓與襯片接觸，第二載臺能夠穿過避讓孔，以使襯片與上蓋抵接且使晶圓與襯片粘合。本發(fā)明提供的晶圓鍵合機，結(jié)構(gòu)簡單，體積小巧，便于操作使用，且能夠保證晶圓與襯片之間的同心度，工作可靠性高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓鍵合機。

背景技術(shù)

晶圓的正面在做完所需的工藝后，由于工藝要求需要對晶圓的背面進行減薄處理。在減薄過程中，為了避免對晶圓后續(xù)的加工工序產(chǎn)生影響或者造成晶圓破損，通常需要將晶圓粘合在襯片上，此方法稱之為晶圓鍵合。

在現(xiàn)有技術(shù)中，通常利用晶圓鍵合機進行晶圓和襯片的粘合。為了便于減薄處理，晶圓與襯片粘合在一起后應(yīng)滿足同心度要求。現(xiàn)有的晶圓鍵合機，通常利用復(fù)雜的同心對準系統(tǒng)進行對準，從而導(dǎo)致了設(shè)備的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，成本較高，且工作可靠性較差。

因此，亟需一種新型的晶圓鍵合機以解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓鍵合機，結(jié)構(gòu)簡單，體積小巧，便于操作使用，且工作可靠性高。

為達上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種晶圓鍵合機，包括：

底座和上蓋，所述底座上設(shè)置有頂面開口的容納腔，所述上蓋能夠封閉或打開所述容納腔的開口；

第一載臺，固定設(shè)置在所述容納腔中，所述第一載臺上設(shè)置有與襯片相適配的第一定位槽以容置所述襯片，所述第一定位槽的槽底設(shè)置有避讓孔；

第二載臺，可升降地設(shè)置在所述容納腔中，所述第二載臺上設(shè)置有與涂有鍵合膠的晶圓相適配的第二定位槽以容置所述晶圓，且所述第二定位槽與所述第一定位槽同心，所述第二載臺能夠帶動所述晶圓上升并使所述晶圓與所述襯片接觸，所述第二載臺能夠穿過所述避讓孔，以使所述襯片與所述上蓋抵接且使所述晶圓與所述襯片粘合。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，所述第一定位槽的側(cè)壁包括第一平邊部和第一弧形部，所述襯片的平邊能夠抵靠所述第一平邊部，所述襯片的弧邊能夠抵靠所述第一弧形部；和/或

所述第二定位槽的側(cè)壁包括第二平邊部和第二弧形部，所述晶圓的平邊能夠抵靠所述第二平邊部，所述晶圓的弧邊能夠抵靠所述第二弧形部。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，所述第二定位槽的側(cè)壁為斜面，且所述第二定位槽呈敞口狀。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，所述第二載臺內(nèi)設(shè)置有加熱板，以加熱所述晶圓。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，還包括第一驅(qū)動器，所述第一驅(qū)動器固定設(shè)置在所述容納腔中，所述第一驅(qū)動器的驅(qū)動端與所述第二載臺連接，以驅(qū)動所述第二載臺升降。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，所述容納腔包括相連通的上容納腔和下容納腔，所述上蓋能夠封閉或打開所述上容納腔的開口，所述第一載臺固定設(shè)置在所述上容納腔中，所述第二載臺可升降地設(shè)置在所述上容納腔中，所述第一驅(qū)動器固定設(shè)置在所述下容納腔中。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，所述底座包括上底座和下底座，所述上底座可拆卸地疊置在所述下底座上，所述上容納腔設(shè)置在所述上底座上，所述下容納腔設(shè)置在所述下底座上。

作為所述晶圓鍵合機的優(yōu)選方案，還包括第一支撐柱，所述第一支撐柱的底端與所述上底座連接，所述第一載臺設(shè)置在所述第一支撐柱的頂端；和/或