[發(fā)明專利]固定裝置及使用該固定裝置的空心柱狀器件測(cè)試設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010003342.4
• 申請(qǐng)日: 2020-01-02
• 公開（公告）號(hào): CN111156883B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黨景濤;左寧;甄萬(wàn)財(cái);高慧瑩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): G01B5/252
• 分類號(hào): G01B5/252
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 李青

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種固定裝置及使用該固定裝置的空心柱狀器件測(cè)試設(shè)備。固定裝置用于固定空心柱狀器件，固定裝置包括卡盤和放置板，卡盤的活動(dòng)卡爪的數(shù)量為多個(gè)；放置板與卡盤固定連接，放置板用于放置空心柱狀器件，放置板設(shè)置有多個(gè)沿卡盤的徑向延伸的導(dǎo)向孔，導(dǎo)向孔的位置與活動(dòng)卡爪的位置一一對(duì)應(yīng)，活動(dòng)卡爪能夠在導(dǎo)向孔中往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且活動(dòng)卡爪能夠與空心柱狀器件的內(nèi)表面抵接。本發(fā)明能夠?qū)招闹鶢钇骷M(jìn)行固定和測(cè)試。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種固定裝置及使用該固定裝置的空心柱狀器件測(cè)試設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體封裝制造行業(yè)中，生產(chǎn)完成后的電路板通常需要進(jìn)一步進(jìn)行檢測(cè)，確保電路板不會(huì)存在短路或者開路的缺陷，例如基銅短路、細(xì)線短路、電鍍斷路等，這些缺陷都會(huì)使得電路板因?yàn)橘|(zhì)量問題導(dǎo)致后續(xù)無法正常使用的情況。目前常用的檢測(cè)方法是采用夾持固定裝置對(duì)電路板進(jìn)行固定，然后采用顯微鏡結(jié)合測(cè)試儀器對(duì)電路板進(jìn)行檢測(cè)。

隨著信息化時(shí)代的到來，為了滿足不同場(chǎng)合的電子產(chǎn)品使用要求，半導(dǎo)體元器件正朝著形狀多樣化的趨勢(shì)發(fā)展。例如空心柱狀器件，在對(duì)空心柱狀器件進(jìn)行測(cè)試前，需要先將空心柱狀器件放置在初始位置，然后再對(duì)其進(jìn)行固定，以保證首測(cè)點(diǎn)位置不變，而現(xiàn)有的夾持固定裝置在夾持過程中，會(huì)導(dǎo)致空心柱狀器件的位置發(fā)生變化，從而導(dǎo)致首測(cè)點(diǎn)位置發(fā)生變化，進(jìn)而導(dǎo)致了空心柱狀器件無法被測(cè)試。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一目的在于提供一種固定裝置，以緩解現(xiàn)有技術(shù)中存在的在夾持過程中，會(huì)導(dǎo)致空心柱狀器件的位置發(fā)生變化，從而導(dǎo)致首測(cè)點(diǎn)位置發(fā)生變化的技術(shù)問題。

本發(fā)明的第二目的在于提供一種空心柱狀器件測(cè)試設(shè)備，以緩解現(xiàn)有技術(shù)中存在的無法對(duì)空心柱狀器件進(jìn)行測(cè)試的技術(shù)問題。

基于上述第一目的，本發(fā)明提供了一種固定裝置，所述固定裝置用于固定空心柱狀器件，所述固定裝置包括卡盤和放置板，所述卡盤的活動(dòng)卡爪的數(shù)量為多個(gè)；所述放置板與所述卡盤固定連接，所述放置板用于放置空心柱狀器件，所述放置板設(shè)置有多個(gè)沿所述卡盤的徑向延伸的導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔的位置與所述活動(dòng)卡爪的位置一一對(duì)應(yīng)，所述活動(dòng)卡爪能夠在所述導(dǎo)向孔中往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述活動(dòng)卡爪能夠與所述空心柱狀器件的內(nèi)表面抵接。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述活動(dòng)卡爪上設(shè)置有外撐部，所述外撐部與所述活動(dòng)卡爪可拆卸連接，所述外撐部能夠在所述導(dǎo)向孔中往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述外撐部能夠與所述空心柱狀器件的內(nèi)表面抵接。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述外撐部包括連接部和外撐爪，所述連接部的下表面與所述活動(dòng)卡爪固定連接，所述連接部的上表面與所述外撐爪固定連接；所述外撐爪能夠在所述導(dǎo)向孔中往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述外撐爪能夠與所述空心柱狀器件的內(nèi)表面抵接。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述外撐爪呈階梯狀，且所述外撐爪具有橫向臺(tái)階面和縱向臺(tái)階面，所述縱向臺(tái)階面能夠與所述空心柱狀器件的內(nèi)表面抵接；所述橫向臺(tái)階面能夠位于所述放置板的下方。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述連接部包括第一連接板和第二連接板，所述第一連接板的下表面設(shè)置有凹槽，所述活動(dòng)卡爪限位于所述凹槽中，且所述第一連接板與所述活動(dòng)卡爪固定連接；所述第二連接板位于所述第一連接板的上方，所述第二連接板與所述第一連接板固定連接，所述外撐爪與所述第二連接板固定連接。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述放置板的形狀為圓形，所述放置板的上表面設(shè)置有定位刻度線，所述定位刻度線指向所述放置板的圓心；所述定位刻度線用于與空心柱狀器件的周向表面的對(duì)位缺口對(duì)準(zhǔn)。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，所述固定裝置還包括基座，所述基座的上表面設(shè)置有多個(gè)用于安裝所述放置板的安裝位，所述放置板的上表面與所述基座的上表面在同一平面內(nèi)。

進(jìn)一步地，在某些實(shí)施例中，多個(gè)所述安裝位呈矩形陣列排布或多個(gè)所述安裝位呈圓形陣列排布。