[發明專利]固定裝置及使用該固定裝置的空心柱狀器件測試設備

有效

• 申請號: 202010003342.4
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN111156883B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 黨景濤;左寧;甄萬財;高慧瑩
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: G01B5/252
• 分類號: G01B5/252
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 李青

1.一種固定裝置，其特征在于，所述固定裝置用于固定空心柱狀器件，所述固定裝置包括卡盤和放置板，所述卡盤的活動卡爪的數量為多個；所述放置板與所述卡盤固定連接，所述放置板用于放置空心柱狀器件，所述放置板設置有多個沿所述卡盤的徑向延伸的導向孔，所述導向孔的位置與所述活動卡爪的位置一一對應，所述活動卡爪能夠在所述導向孔中往復運動，且所述活動卡爪能夠與所述空心柱狀器件的內表面抵接；

還包括基座，所述基座包括頂板，所述頂板上設置有定位柱；

所述基座的上表面設置有多個用于安裝所述放置板的安裝位，所述放置板的上表面與所述基座的上表面在同一平面內。

2.根據權利要求1所述的固定裝置，其特征在于，所述活動卡爪上設置有外撐部，所述外撐部與所述活動卡爪可拆卸連接，所述外撐部能夠在所述導向孔中往復運動，且所述外撐部能夠與所述空心柱狀器件的內表面抵接。

3.根據權利要求2所述的固定裝置，其特征在于，所述外撐部包括連接部和外撐爪，所述連接部的下表面與所述活動卡爪固定連接，所述連接部的上表面與所述外撐爪固定連接；所述外撐爪能夠在所述導向孔中往復運動，且所述外撐爪能夠與所述空心柱狀器件的內表面抵接。

4.根據權利要求3所述的固定裝置，其特征在于，所述外撐爪呈階梯狀，且所述外撐爪具有橫向臺階面和縱向臺階面，所述縱向臺階面能夠與所述空心柱狀器件的內表面抵接；所述橫向臺階面能夠位于所述放置板的下方。

5.根據權利要求3所述的固定裝置，其特征在于，所述連接部包括第一連接板和第二連接板，所述第一連接板的下表面設置有凹槽，所述活動卡爪限位于所述凹槽中，且所述第一連接板與所述活動卡爪固定連接；所述第二連接板位于所述第一連接板的上方，所述第二連接板與所述第一連接板固定連接，所述外撐爪與所述第二連接板固定連接。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的固定裝置，其特征在于，所述放置板的形狀為圓形，所述放置板的上表面設置有定位刻度線，所述定位刻度線指向所述放置板的圓心；所述定位刻度線用于與空心柱狀器件的周向表面的對位缺口對準。

7.根據權利要求1所述的固定裝置，其特征在于，多個所述安裝位呈矩形陣列排布或多個所述安裝位呈圓形陣列排布。

8.根據權利要求1所述的固定裝置，其特征在于，所述卡盤位于所述放置板的下方，且所述卡盤與所述基座的底板固定連接。

9.根據權利要求1至5中任一項所述的固定裝置，其特征在于，所述卡盤的活動卡爪的數量不少于三個。

10.一種空心柱狀器件測試設備，其特征在于，包括如權利要求1至9中任一項所述的固定裝置。