[發明專利]一種沉積裝置

在審

• 申請號: 202010002909.6
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN111139458A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 王新勝;詹昶;徐乾坤
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/50
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 高潔;張穎玲

1.一種沉積裝置，其特征在于，所述裝置包括：反應腔及設置在所述反應腔內的晶圓主支撐部和晶圓輔支撐部；其中，

所述晶圓主支撐部用于在所述沉積裝置執行沉積作業時承載晶圓，并對晶圓進行加熱；

所述晶圓主支撐部通過在所述晶圓輔支撐部的下方進行上下移動及沿中心軸轉動，以在再次承載所述晶圓時提供與晶圓接觸面發生轉動的相對位置；

所述晶圓輔支撐部用于在以下時刻承載所述晶圓：在所述晶圓主支撐部在所述晶圓輔支撐部的下方進行移動和/或轉動時。

2.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓主支撐部具有在承載晶圓時與晶圓接觸的圓形接觸面；

所述晶圓輔支撐部具有在承載晶圓時與晶圓接觸的多個分離設置的接觸部；

所述圓形接觸面內具有容納所述接觸部的缺口。

3.根據權利要求2所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓輔支撐部還具有環形連接部；

所述環形連接部位于所述接觸部與晶圓接觸的遠端，所述環形連接部與多個所述接觸部固定連接。

4.根據權利要求2所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓輔支撐部上的所述接觸部的數量為3個以上，相鄰兩接觸部之間的夾角相同。

5.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓主支撐部具有在承載晶圓時與晶圓接觸的圓形接觸面；

所述晶圓輔支撐部具有在承載晶圓時與晶圓接觸的環形接觸部；

所述圓形接觸面外圍設置有容納所述環形接觸部的容納槽。

6.根據權利要求5所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓主支撐部還具有加熱組件，所述加熱組件位于所述圓形接觸面以及所述容納槽的下方。

7.根據權利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述裝置還包括：噴頭，所述噴頭設置在所述晶圓主支撐部上方，以在所述沉積裝置執行沉積作業時向所述晶圓噴灑沉積物；

所述晶圓輔支撐部為可拆分結構，所述晶圓輔支撐部配置為：在所述晶圓主支撐部支撐晶圓并沿中心軸轉動，以改變所述晶圓和所述噴頭之間的相對位置時，拆分為沿承載晶圓的平面方向上遠離所述晶圓主支撐部的分體結構。

8.根據權利要求1至7任一項所述的沉積裝置，其特征在于，所述晶圓輔支撐部還用于在以下時刻承載所述晶圓：

在所述沉積裝置執行沉積作業時，所述晶圓輔支撐部與所述晶圓主支撐部共同承載所述晶圓。

9.根據權利要求1至7任一項所述的沉積裝置，其特征在于，

所述晶圓主支撐部通過第一連接部與所述反應腔的內壁連接；

所述晶圓輔支撐部通過不同于所述第一連接部的第二連接部與所述反應腔的內壁連接。

10.根據權利要求1至7任一項所述的沉積裝置，其特征在于，所述裝置還包括：驅動部件，其中，

所述驅動部件與所述晶圓主支撐部連接，用于帶動所述晶圓主支撐部上下移動和/或沿中心軸轉動。