[發明專利]工藝控制方法、裝置、系統及存儲介質

有效

• 申請號: 202010001375.5
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN111223799B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 王璠
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 鈄颯颯;臧建明

本發明提供一種工藝控制方法、裝置、系統及存儲介質，該方法，包括：獲取傳感器的原始數據；對所述原始數據進行特征提取，得到特征數據；對所述特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據；將所述目標數據輸入錯誤檢測及分類FDC系統，以使得通過所述FDC系統輸出控制策略；根據所述控制策略，進行機臺的工藝控制。本發明可以通過對傳感器原始數據的特征提取，得到特征數據，并利用特征數據與量測數據之間的相關性，篩選出對量測數據有顯著影響的數據，將這些數據作為FDC系統的輸入，自動生成控制策略，從而可以有效提高傳感器數據的處理效率，實現對半導體工藝的在線流程控制。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種工藝控制方法、裝置、系統及存儲介質。

背景技術

隨著半導體技術的發展，半導體芯片上集成的電子器件的數量也越來越多。在芯片的制造過程中，往往需要經過上百道工藝步驟。而在每一道工藝步驟的機臺中，會有大量的傳感器對機臺狀況進行監測。例如，一個300mm晶圓廠的機臺每天收到的機臺傳感器數據(raw trace)就多達上億條。

目前，通常的做法是，工程師通過自己對工藝的理解和經驗，對傳感器時間序列數據進行采樣和統計，采用計算好的統計量設置上下限的方式進行工藝的在線流程控制。

但是上述方式對工程師的能力要求較高，傳感器的數據處理效率低下，容易出現大量的錯誤警報，導致機臺停機，影響工藝的生產進程。

發明內容

本發明提供一種工藝控制方法、裝置、系統及存儲介質，可以有效提高傳感器數據的處理效率，實現對半導體工藝的在線流程控制。

第一方面，本發明實施例提供一種工藝控制方法，包括：

獲取傳感器的原始數據；

對所述原始數據進行特征提取，得到特征數據；

對所述特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據；

將所述目標數據輸入錯誤檢測及分類FDC系統，以使得通過所述FDC系統輸出控制策略；

根據所述控制策略，進行機臺的工藝控制。

在一種可能的設計中，所述獲取傳感器的原始數據，包括：

按照預設的采樣率，獲取監測機臺狀態的各個傳感器的原始數據，其中，所述原始數據包括：微秒級數據，和/或毫秒級數據。

在一種可能的設計中，對所述原始數據進行特征提取，得到特征數據，包括：

分別提取所述原始數據在時域和頻域上的特征數據。

在一種可能的設計中，還包括：

將所述原始數據和所述特征數據存儲在關系數據庫中，或者大數據平臺。

在一種可能的設計中，對所述特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據，包括：

對時域上的特征數據進行切片處理，得到時間片特征數據；

對頻域上的特征數據進行切片處理，得到頻率片特征數據；

將所述時間片特征數據、所述頻率片特征數據與所述檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到所述目標數據；其中，所述檢測設備用于檢測在線生產過程中的工藝數據。

在一種可能的設計中，對所述特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據，包括：

通過多元線性回歸，或者決策樹回歸方式，分析所述特征數據與所述檢測設備的量測數據的相關性；

濾除相關性低于預設閾值的特征數據，得到所述目標數據。