[發明專利]工藝控制方法、裝置、系統及存儲介質

有效

• 申請號: 202010001375.5
• 申請日: 2020-01-02
• 公開（公告）號: CN111223799B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 王璠
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 鈄颯颯;臧建明

1.一種工藝控制方法，其特征在于，包括：

獲取傳感器的原始數據；

對所述原始數據在時域和頻域上分別進行特征提取，得到特征數據，其中，所述特征數據包括時域上的特征數據和頻域上的特征數據；

對所述特征數據進行切片處理，得到第二特征數據，所述第二特征數據包括時間片特征數據和頻率片特征數據；

對所述第二特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據；

將所述目標數據輸入錯誤檢測及分類FDC系統，以使得通過所述FDC系統輸出控制策略；

根據所述控制策略，進行機臺的工藝控制；

將所述目標數據輸入錯誤檢測及分類FDC系統，以使得通過所述FDC系統輸出控制策略，包括：

根據所述目標數據，確定錯誤類型；

從大數據平臺獲取所述錯誤類型對應的歷史報警信息，以及所述歷史報警信息對應的處理策略記錄；

根據所述處理策略記錄，輸出所述控制策略。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取傳感器的原始數據，包括：

按照預設的采樣率，獲取監測機臺狀態的各個傳感器的原始數據，其中，所述原始數據包括：微秒級數據，和/或毫秒級數據。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

將所述原始數據和所述特征數據存儲在關系數據庫中，或者大數據平臺。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述特征數據進行切片處理，得到第二特征數據，包括：

對時域上的特征數據進行切片處理，得到時間片特征數據；

對頻域上的特征數據進行切片處理，得到頻率片特征數據。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述第二特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據，包括：

將所述時間片特征數據、所述頻率片特征數據與所述檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到所述目標數據；其中，所述檢測設備用于檢測在線生產過程中的工藝數據。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的方法，其特征在于，對所述第二特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據，包括：

通過多元線性回歸，或者決策樹回歸方式，分析所述第二特征數據與所述檢測設備的量測數據的相關性；

濾除相關性低于預設閾值的特征數據，得到所述目標數據。

7.一種工藝控制裝置，其特征在于，包括：

獲取模塊，用于獲取傳感器的原始數據；

提取模塊，用于對所述原始數據在時域和頻域上分別進行特征提取，得到特征數據，其中，所述特征數據包括時域上的特征數據和頻域上的特征數據；

分析模塊，用于對所述特征數據和檢測設備的量測數據進行相關性分析，得到目標數據；

處理模塊，用于將所述目標數據輸入錯誤檢測及分類FDC系統，以使得通過所述FDC系統輸出控制策略；

控制模塊，用于根據所述控制策略，進行機臺的工藝控制；

所述分析模塊，還用于：對所述特征數據進行切片處理，得到第二特征數據，所述第二特征數據包括時間片特征數據和頻率片特征數據；

所述處理模塊，具體用于：

根據所述目標數據，確定錯誤類型；

從大數據平臺獲取所述錯誤類型對應的歷史報警信息，以及所述歷史報警信息對應的處理策略記錄；

根據所述處理策略記錄，輸出所述控制策略。

8.一種工藝控制系統，其特征在于，包括：存儲器、處理器，存儲器中存儲有所述處理器的可執行指令；其中，所述處理器配置為經由執行所述可執行指令來執行權利要求1-6任一項所述的工藝控制方法。

9.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，該程序被處理器執行時實現權利要求1-6任一項所述的工藝控制方法。