[發(fā)明專利]改善階梯結(jié)構(gòu)中的半隔離字線的蝕刻裕量的虛設(shè)字線觸點(diǎn)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980101769.3
• 申請日: 2019-12-12
• 公開（公告）號: CN114600243A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉瀏;孫川;馬洪
• 申請（專利權(quán)）人: 英特爾公司
• 主分類號: H01L27/11582
• 分類號: H01L27/11582
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 姜飛

1.一種存儲(chǔ)器設(shè)備，包括：

堆疊在三維(3D)階梯堆疊中的多條字線，包括在所述階梯堆疊的邊緣處的第一字線，該第一字線在一側(cè)有相鄰字線，而在相反側(cè)沒有相鄰字線；以及

垂直連接器，所述垂直連接器穿過所述3D階梯堆疊上的隔離層來將所述3D階梯堆疊的字線與訪問層中的導(dǎo)電線相連接，所述垂直連接器包括在所述第一字線的所述相反側(cè)的至少一個(gè)虛設(shè)垂直連接器，其中所述虛設(shè)垂直連接器不將所述3D階梯堆疊的字線電連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線。

2.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述虛設(shè)垂直連接器沒有完全穿過所述隔離層延伸到所述字線。

3.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述虛設(shè)垂直連接器連接到所述3D階梯堆疊中的字線，而不連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線。

4.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述虛設(shè)垂直連接器包括第一虛設(shè)垂直連接器，并且還包括第二虛設(shè)垂直連接器，其中所述第二虛設(shè)垂直連接器不將所述3D階梯堆疊的字線電連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線。

5.如權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述第一虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述相反側(cè)并且所述第二虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述一側(cè)。

6.如權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述第一虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述相反側(cè)并且所述第二虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述相反側(cè)。

7.如權(quán)利要求6所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，還包括第三虛設(shè)垂直連接器，其中所述第三虛設(shè)垂直連接器不將所述3D階梯堆疊的字線電連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線，所述第三虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述一側(cè)。

8.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述第一字線是所述3D階梯堆疊的區(qū)域中的頂層。

9.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述第一字線是所述3D階梯堆疊的區(qū)域中的底層。

10.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述虛設(shè)垂直連接器的直徑小于將所述3D階梯堆疊的字線與訪問層中的導(dǎo)電線相連接的垂直連接器的直徑。

11.如權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器設(shè)備，其中所述3D階梯堆疊包括NAND閃存存儲(chǔ)器設(shè)備的字線的3D堆疊。

12.一種系統(tǒng)，包括：

非易失性(NV)存儲(chǔ)器控制器；以及

與所述NV存儲(chǔ)器控制器相耦合的NV存儲(chǔ)器的多個(gè)管芯，所述NV存儲(chǔ)器管芯包括

堆疊在三維(3D)階梯堆疊中的多條字線，包括在所述階梯堆疊的邊緣處的第一字線，該第一字線在一側(cè)有相鄰字線，而在相反側(cè)沒有相鄰字線；以及

垂直連接器，所述垂直連接器穿過所述3D階梯堆疊上的隔離層來將所述3D階梯堆疊的字線與訪問層中的導(dǎo)電線相連接，所述垂直連接器包括在所述第一字線的所述相反側(cè)的至少一個(gè)虛設(shè)垂直連接器，其中所述虛設(shè)垂直連接器不將所述3D階梯堆疊的字線電連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線。

13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述虛設(shè)垂直連接器沒有完全穿過所述隔離層延伸到所述字線。

14.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述虛設(shè)垂直連接器包括第一虛設(shè)垂直連接器，并且還包括第二虛設(shè)垂直連接器，其中所述第二虛設(shè)垂直連接器不將所述3D階梯堆疊的字線電連接到所述訪問層中的導(dǎo)電線。

15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中所述第一虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述相反側(cè)并且所述第二虛設(shè)垂直連接器位于所述第一字線的所述一側(cè)。