[發(fā)明專利]調(diào)整向等離子體供電的電源的輸出功率的方法、等離子體設(shè)備以及電源

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201980097851.3
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN115427605A
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·斯維亞特尼基;K·魯達;M·維奧斯納;G·托奇洛夫斯基;陳佳磊
• 申請（專利權(quán)）人: 通快許廷格有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 周家新

1.一種調(diào)整向等離子體室(2、2')中的等離子體(15、15')供電的電源(10、10')的輸出功率的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

a.將所述電源(10、10')與所述等離子體室(2、2')中的至少一個電極(11、11'、12、12')相連接，

b.使用基材載體(4、4')將一個或更多個基材(3、3a、3b、3')相對于所述電極(11、11'、12、12')運送，

c.通過電力維持所述等離子體(15、15')，

d.借助于所述等離子體(15、15')處理所述基材(3、3a、3b、3')，

e.根據(jù)與所述電極(11、11'、12、12')的面向基材-載體組件(5、5')的表面和所述基材-載體組件(5、5')的面向電極(11、11'、12、12')的表面之間的距離(d)相關(guān)的參數(shù)調(diào)整功率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，測量所述電極(11、11'、12、12')和所述基材-載體組件(5、5')之間的距離(d)以及與所述距離相關(guān)的參數(shù)。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，與所述基材-載體組件(5、5')和所述電極(11、11'、12、12')之間的距離相關(guān)的參數(shù)被輸入到所述電源(10、10')內(nèi)的控制器(19、19')，其中，輸出功率由所述控制器(19、19')調(diào)整。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述電源(10、10')提供交流電、特別是頻率在0.1kHz和200kHz之間的交流電。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，根據(jù)所述電極(11、11'、12、12')和所述基材(3、3a、3b、3')的相對位置調(diào)整所述電源(10、10')的輸出功率。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，以階梯方式、線性方式、或根據(jù)給定的函數(shù)來調(diào)整輸出功率。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，根據(jù)攜帶一個或更多個基材(3、3a、3b、3')的載體(4、4')的位置調(diào)整輸出功率。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，與所述基材(3、3a、3')和/或所述基材-載體組件(5、5')的形貌相關(guān)的信息被確定。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的方法，其特征在于，功率的調(diào)整與所述基材載體的位置(4、4')同步。

10.一種等離子體設(shè)備(1、1')，其特征在于，所述等離子體設(shè)備包括：

a.等離子體室(2、2')，

b.位于所述等離子體室(2、2')內(nèi)的至少一個電極(11、11'、12、12')，

c.至少一個電源(10、10')，其與所述電極(11、11'、12、12')連接并配置為能夠向所述電極(11、11'、12、12')供電，以維持等離子體(15、15')在所述等離子體室(2、2')中處理一個或更多個基材(3、3a、3b、3')，

d.基材載體(4、4')，其用于將所述一個或更多個基材(3、3a、3')相對于所述至少一個電極(11、11'、12、12')運送，

e.控制器(19、19')，其用于根據(jù)與所述至少一個電極(11、11'、12、12')和基材-載體組件(5、5')的面向所述電極(11、11'、12、12')的表面之間的距離(d)相關(guān)的參數(shù)控制所述電源(10、10')的輸出功率。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的等離子體設(shè)備，其特征在于，所述等離子體設(shè)備設(shè)置有用于測量所述基材-載體組件(5、5')的表面和所述電極的表面之間的距離(d)的傳感器(17、17')。