[發明專利]圓二色性測定裝置以及圓二色性測定方法

在審

• 申請號: 201980094139.8
• 申請日: 2019-07-17
• 公開（公告）號: CN113574362A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 三好有一;近藤吉朗
• 申請（專利權）人: 日本分光株式會社
• 主分類號: G01N21/19
• 分類號: G01N21/19
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

不需要基于標準試樣進行校準作業的圓二色性測定裝置具備：試樣部(4)，其具有試樣；PEM(3)，其對向試樣部(4)的入射光或來自試樣部(4)的出射光的偏振狀態進行調制；光檢測器(5)，其檢測來自試樣部(4)的出射光的光強度的變化；放大器(7)，其放大來自光檢測器(5)的檢測信號；AD轉換器(8)，其將由放大器(7)放大后的檢測信號轉換為數字信號；以及數字處理裝置(10)，其對來自AD轉換器(8)的數字信號進行信號處理，來獲取試樣的圓二色性的測定值。AD轉換器(8)構成為將在包含以與PEM(3)的調制頻率相同的頻率進行變化的光強度的AC成分和DC成分的狀態下被放大后的檢測信號轉換為數字信號。

關聯申請

本申請要求2019年3月15日申請的日本專利申請2019-048490號的優先權，將其納入于此。

技術領域

本發明涉及圓二色性(Circular Dichroism，簡稱為CD)的測定。具體而言，涉及一種不需要利用標準試樣進行校準作業就能夠測定圓二色性的絕對值的圓二色性測定裝置。

背景技術

對以往的CD測定裝置中的使用標準試樣進行校準作業的必要性進行簡單說明。當回到CD測定的基本時，妨礙CD測定的高靈敏度化的原因之一在于CD是吸光度的1/100至1/1000的程度這樣的微小值。在以往的CD測定裝置中，通過將偏振調制法與鎖定放大法相結合，能夠達成某種程度上的靈敏度提高。

作為利用了偏振調制法及鎖定放大法的以往類型的CD測定裝置的代表例，列舉專利文獻1(圖5)和專利文獻2(圖3)。在這些CD測定裝置中，交流成分(AC成分)的信號路徑從直流成分(DC成分)的信號路徑分支，AC成分的信號路徑中存在交流放大器和鎖定放大器，DC成分的信號路徑中存在直流放大器。而且，為了從檢測信號中檢測微小的AC成分，對鎖定放大器設定大的增益并且獨立地設定各個放大器的增益。

根據CD值的定義，應該能夠基于檢測信號的AC成分與DC成分之比來計算CD值，但是在以往的CD測定裝置的結構中，由于各個放大器的增益的差異，即使采用AC成分與DC成分之比，表示放大器特性的因子也未被消除而殘留。其主要原因之一為鎖定放大器的增益非常大。因此，需要進行以下的增益調整：基于適當的標準試樣對裝置進行校準，來消除殘留的裝置因子。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平11-23466號公報

專利文獻2：日本特開2012-202812號公報

發明內容

發明要解決的問題

如上所述，以往的CD測定裝置需要基于特定的標準試樣進行校準作業，測定數據的可靠性取決于該標準試樣的可靠性。根據這樣的情況，最近還存在想要省去基于標準試樣的校準作業這樣的用戶的需求。本發明的目的在于提供一種不需要基于標準試樣進行校準作業的CD測定裝置。

用于解決問題的方案

本發明的圓二色性測定裝置具備：

試樣部，其具有試樣；

偏振調制單元，其對向所述試樣部的入射光或來自所述試樣部的出射光的偏振狀態進行調制；

光檢測單元，其檢測來自所述試樣部的出射光的光強度的變化；

放大單元，其放大來自所述光檢測單元的檢測信號；

AD轉換單元，其將由所述放大單元放大后的檢測信號轉換為數字信號；以及

數字處理單元，其對來自所述AD轉換單元的所述數字信號進行信號處理，來獲取試樣的圓二色性的測定值，