[發明專利]圓二色性測定裝置以及圓二色性測定方法

在審

• 申請號: 201980094139.8
• 申請日: 2019-07-17
• 公開（公告）號: CN113574362A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 三好有一;近藤吉朗
• 申請（專利權）人: 日本分光株式會社
• 主分類號: G01N21/19
• 分類號: G01N21/19
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種圓二色性測定裝置，其特征在于，具備：

試樣部，其具有試樣；

偏振調制單元，其對向所述試樣部的入射光或來自所述試樣部的出射光的偏振狀態進行調制；

光檢測單元，其檢測來自所述試樣部的出射光的光強度的變化；

放大單元，其放大來自所述光檢測單元的檢測信號；

AD轉換單元，其將由所述放大單元放大后的檢測信號轉換為數字信號；以及

數字處理單元，其對來自所述AD轉換單元的所述數字信號進行信號處理，來獲取試樣的圓二色性的測定值，

其中，所述AD轉換單元構成為：將在包含以與所述偏振調制單元的調制頻率相同的頻率進行變化的所述光強度的交流成分即AC成分和直流成分即DC成分的狀態下被放大后的檢測信號轉換為數字信號。

2.根據權利要求1所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

所述數字處理單元構成為：

分別提取ADsignal(AC)和ADsignal(DC)，所述ADsignal(AC)是來自所述AD轉換單元的所述數字信號中包含的AD信號中的AC成分，所述ADsignal(DC)是來自所述AD轉換單元的所述數字信號中包含的AD信號中的DC成分，并且

基于ADsignal(AC)/g1與ADsignal(DC)/g2之比的值即(ADsignal(AC)/ADsignal(DC))×(g2/g1)，來獲取所述試樣的圓二色性的測定值，所述ADsignal(AC)/g1是將所述AD信號中的AC成分除以g1而得到的值，所述ADsignal(DC)/g2是將所述AD信號中的DC成分除以g2而得到的值，所述g1是該測定裝置針對AC成分的系統增益，所述g2是該測定裝置針對DC成分的系統增益。

3.根據權利要求2所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

作為該測定裝置的系統增益的g1和g2是在以直線從所述光檢測單元連結到所述AD轉換單元的信號路徑上配置的系統構成設備整體的增益，至少包含所述放大單元的增益。

4.根據權利要求2所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

作為該測定裝置的系統增益的g1和g2是在以直線從所述光檢測單元連結到所述AD轉換單元的信號路徑上配置的系統構成設備整體的增益，至少包含所述光檢測單元的增益和所述放大單元的增益。

5.根據權利要求1～4中的任一項所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

所述數字處理單元構成為：

將來自所述AD轉換單元的所述數字信號中包含的所述偏振調制單元的調制的每一個周期的波形數據進行累計，并且

基于該一個周期的量的累計波形數據，來分別提取所述AD信號中的AC成分和所述AD信號中的DC成分。

6.根據權利要求1～5中的任一項所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

所述數字處理單元通過針對來自所述AD轉換單元的所述數字信號中包含的波形數據執行基于將基波至n次諧波進行合成所得到的合成波的擬合，來分別提取所述AD信號中的AC成分和所述AD信號中的DC成分，其中，n為正整數。

7.根據權利要求1～5中的任一項所述的圓二色性測定裝置，其特征在于，

所述數字處理單元通過對來自所述AD轉換單元的所述數字信號中包含的波形數據進行FFT處理，來分別提取所述AD信號中的AC成分和所述AD信號中的DC成分。

8.一種圓二色性測定方法，為基于偏振調制法測定試樣的圓二色性的方法，所述圓二色性測定方法的特征在于，包括以下步驟：

使計算機從被放大且被轉換為數字信號的檢測信號的數字波形中提取AC成分即ADsignal(AC)和DC成分即ADsignal(DC)；

使所述計算機計算在以直線從光檢測單元連結到AD轉換單元的信號路徑上配置的系統構成設備整體的增益來作為系統增益g；

使所述計算機基于所述AC成分即ADsignal(AC)、所述DC成分即ADsignal(DC)以及所述系統增益g，來計算圓二色性的測定值。

9.根據權利要求8所述的圓二色性測定方法，其特征在于，

在所述系統增益g的計算步驟中，使所述計算機計算g1和g2，并計算兩者之比即g2/g1來作為所述系統增益g，所述g1是針對頻率與調制頻率相同的AC成分的所述系統增益，所述g2是針對DC成分的所述系統增益。