[發(fā)明專利]帶圖案的基板的制造方法、電路基板的制造方法、觸控面板的制造方法及層疊體

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980093022.8
• 申請(qǐng)日: 2019-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113474728A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田悟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/20;G03F7/40;G03F7/42;G06F3/041;H05K3/06
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 薛海蛟

本發(fā)明提供一種帶圖案的基板的制造方法及其應(yīng)用，所述帶圖案的基板的制造方法具有使感光性轉(zhuǎn)印材料中的感光性樹(shù)脂組合物層和聚酰亞胺基板接觸，以將上述感光性轉(zhuǎn)印材料與上述聚酰亞胺基板貼合的工序，該感光性轉(zhuǎn)印材料具有臨時(shí)支承體和含有玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為50℃以上的酸分解性樹(shù)脂的上述感光性樹(shù)脂組合物層。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種帶圖案的基板的制造方法、電路基板的制造方法、觸控面板的制造方法及層疊體。

背景技術(shù)

形成金屬配線等導(dǎo)電性圖案的技術(shù)例如在觸控面板的制造和印刷配線基板的制造中被廣泛利用。

在具備靜電電容型輸入裝置等觸控面板的顯示裝置(例如，有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示裝置和液晶顯示裝置)中，在觸控面板內(nèi)部設(shè)置有各種導(dǎo)電性圖案。作為導(dǎo)電性圖案，例如，可以舉出與視覺(jué)辨認(rèn)部的傳感器相當(dāng)?shù)碾姌O圖案、周邊配線及引出配線。在導(dǎo)電性圖案的形成中，由于工序數(shù)少，因此例如可以利用將感光性轉(zhuǎn)印材料貼合在基板上后，經(jīng)圖案曝光、顯影及蝕刻形成期望的圖案的技術(shù)(例如，參考日本特開(kāi)2017-156735號(hào)公報(bào))。

作為在觸控面板中形成有導(dǎo)電性圖案的基板，從可見(jiàn)性的觀點(diǎn)考慮，通常使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜等。

另一方面，在印刷配線基板中，使用芳香族聚酰亞胺系薄膜等耐熱性絕緣薄膜(例如，參考日本特開(kāi)2006-212802號(hào)公報(bào))。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)課題

但是，例如，在使用日本特開(kāi)2017-156735號(hào)公報(bào)中所記載的感光性轉(zhuǎn)印材料之類的具有含有玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低的聚合物的感光性樹(shù)脂組合物層的感光性轉(zhuǎn)印材料，在基板上形成圖案時(shí)，將基板從曝光工序放置到下一工序(例如，顯影工序)時(shí)，隨著從曝光工序到下一工序的時(shí)間經(jīng)過(guò)，有時(shí)會(huì)發(fā)生所得圖案的線寬減小的問(wèn)題。該問(wèn)題還稱為PED(PostExposure Delay，后曝光延遲)。

此外，如果在高溫下貼合現(xiàn)有感光性轉(zhuǎn)印材料和基板，則有時(shí)會(huì)發(fā)生例如感光性轉(zhuǎn)印材料與基板之間的密合性降低以及基板的變形(例如，伸長(zhǎng)和褶皺)。特別是在通過(guò)輥對(duì)輥(Roll to Roll)方式貼合感光性轉(zhuǎn)印材料和基板時(shí)，存在產(chǎn)生上述問(wèn)題的傾向。

而且，例如日本特開(kāi)2006-212802號(hào)公報(bào)中所記載的現(xiàn)有聚酰亞胺薄膜已著色，因此認(rèn)為難以適用于具備觸控面板的顯示裝置。因此，上述聚酰亞胺薄膜沒(méi)有作為在觸控面板中使用的圖案形成用基板而被研究。

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的。

本發(fā)明的一方式的目的在于提供一種能夠抑制由于曝光后隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而導(dǎo)致的圖案線寬的減小，且在高溫條件下的層壓適應(yīng)性優(yōu)異的帶圖案的基板的制造方法。

本發(fā)明的另一方式的目的在于提供一種能夠抑制由于曝光后隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而導(dǎo)致的電路配線線寬的減小，且在高溫條件下的層壓適應(yīng)性優(yōu)異的電路基板的制造方法。

本發(fā)明的另一方式的目的在于提供一種包括上述電路基板的制造方法的觸控面板的制造方法。

本發(fā)明的另一方式的目的在于提供一種使用通過(guò)上述電路基板的制造方法制造的電路基板的觸控面板的制造方法。

本發(fā)明的另一方式的目的在于提供一種能夠抑制由于曝光后隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而導(dǎo)致的圖案線寬的減小的層疊體。

用于解決技術(shù)課題的手段

用于解決上述問(wèn)題的方法包括以下方式。

＜1＞一種帶圖案的基板的制造方法，其具有使感光性轉(zhuǎn)印材料中的感光性樹(shù)脂組合物層和聚酰亞胺基板接觸，以使上述感光性轉(zhuǎn)印材料與上述聚酰亞胺基板貼合的工序，上述感光性轉(zhuǎn)印材料具有臨時(shí)支承體和含有玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為50℃以上的酸分解性樹(shù)脂的上述感光性樹(shù)脂組合物層。