[發明專利]棱鏡、光學器件、棱鏡的制造方法和封裝體器件的制造方法在審
| 申請號: | 201980090897.2 | 申請日: | 2019-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN113383428A | 公開(公告)日: | 2021-09-10 |
| 發明(設計)人: | 山口義正 | 申請(專利權)人: | 日本電氣硝子株式會社 |
| 主分類號: | H01L31/02 | 分類號: | H01L31/02;H01L31/0232;G02B5/04 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人: | 龍淳;池兵 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 棱鏡 光學 器件 制造 方法 封裝 | ||
本發明提供能夠有效地提高位置精度的棱鏡。本發明的棱鏡的特征在于,包括:棱鏡主體2,其具有底面2a和與底面2a相連的斜面2b;和設置在底面2a上的密合膜3,密合膜3具有:位于最靠棱鏡主體2側的位置的第一層部分;和直接或間接地層疊在第一層部分5上的第二層部分6,第二層部分6包含Au層和Sn層中的至少一者。
技術領域
本發明涉及棱鏡、光學器件、棱鏡的制造方法和封裝體器件的制造方法。
背景技術
近年來,在顯示器、汽車的前照燈和投影儀等用途中,廣泛使用了用于使來自光源的光反射或折射的棱鏡。下述的專利文獻1中公開了包含這樣的棱鏡的光學器件的一個例子。在專利文獻1中,在由半導體盤構成的安裝基板上配置有激光片和棱鏡。激光片和棱鏡通過焊料與安裝基板接合。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本特開2000-091688號公報
發明內容
發明要解決的技術問題
在光學器件中,需要以高的精度調整光路的方向,因此,對棱鏡的接合配置要求高的位置精度。但是,在向棱鏡射出光的光源使用高輸出的LD(Laser Diode:激光二極管)等的情況下,當使用由樹脂構成的粘接劑將棱鏡接合配置在安裝基板等上時,粘接劑會軟化,有可能產生棱鏡的錯位。另一方面,專利文獻1中記載的那樣的使用焊料的安裝,會伴隨焊料整體的熔融流動,因此,有可能在安裝的前后產生棱鏡的高度方向的錯位。因此,專利文獻1中記載的那樣的棱鏡,在接合配置在安裝基板等上的情況下,難以充分提高位置精度。另外,在組裝的操作性和成本等方面也存在技術問題。
本發明的目的在于,提供能夠有效地提高光學器件的位置精度的棱鏡和使用該棱鏡的光學器件以及棱鏡的制造方法和封裝體器件的制造方法。
用于解決技術問題的手段
本發明提供一種棱鏡,其特征在于,包括:棱鏡主體,其具有底面和與底面相連的斜面;和設置在底面上的密合膜,密合膜具有:位于棱鏡主體側的第一層部分;和直接或間接地層疊在第一層部分上的第二層部分,第二層部分包含Au層和Sn層中的至少一者。
優選在第二層部分,Au層和Sn層交替地層疊。
優選第二層部分具有Au層和Sn層兩者,在Au層與Sn層之間設置有由Au和Sn的合金構成的Au-Sn層。
優選在密合膜的層疊方向上,設遠離棱鏡主體的一側為外側時,第二層部分的最外層為Au層。
優選第二層部分具有多個Au層和多個Sn層兩者,Au層和Sn層交替地層疊,第二層部分具有應力緩和層,在應力緩和層為多個Au層中的一層的情況下,應力緩和層的厚度與其它的Au層的平均厚度不同,在應力緩和層為多個Sn層中的一層的情況下,應力緩和層的厚度與其它的Sn層的平均厚度不同。在該情況下,更優選應力緩和層的厚度為其它的Au層或其它的Sn層的平均厚度的1/2以上5倍以下。或者,更優選應力緩和層的厚度為其它的Au層或其它的Sn層的平均厚度的1/5以上1/2以下。
優選在密合膜的層疊方向上,設遠離棱鏡主體的一側為外側時,第二層部分的最外層為第二層部分中最薄的層。在該情況下,更優選在第二層部分,越是位于外側的層越薄。
優選第二層部分具有多個Au層和多個Sn層兩者,多個Au層的厚度彼此相同,并且,多個Sn層中,越是位于外側的Sn層,厚度越厚。
優選第二層部分具有多個Au層和多個Sn層兩者,多個Au層中,越是位于外側的Au層,厚度越薄,并且多個Sn層的厚度彼此相同。
優選第二層部分中的Au層和Sn層的合計層數為3層以上99層以下。在該情況下,更優選第二層部分中的Au層和Sn層的合計層數為15層以上35層以下。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





