[發明專利]棱鏡、光學器件、棱鏡的制造方法和封裝體器件的制造方法

在審

• 申請號: 201980090897.2
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN113383428A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 山口義正
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: H01L31/02
• 分類號: H01L31/02;H01L31/0232;G02B5/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;池兵

1.一種棱鏡，其特征在于，包括：

棱鏡主體，其具有底面和與所述底面相連的斜面；和

設置在所述底面上的密合膜，

所述密合膜具有：位于所述棱鏡主體側的第一層部分；和直接或間接地層疊在所述第一層部分上的第二層部分，

所述第二層部分包含Au層和Sn層中的至少一者。

2.根據權利要求1所述的棱鏡，其特征在于：

在所述第二層部分，所述Au層和所述Sn層交替地層疊。

3.根據權利要求1或2所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分具有所述Au層和所述Sn層兩者，在所述Au層與所述Sn層之間設置有由Au和Sn的合金構成的Au-Sn層。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的棱鏡，其特征在于：

在所述密合膜的層疊方向上，設遠離所述棱鏡主體的一側為外側時，所述第二層部分的最外層為所述Au層。

5.根據權利要求2～4中任一項所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分具有多個所述Au層和多個所述Sn層兩者，所述Au層和所述Sn層交替地層疊，

所述第二層部分具有應力緩和層，

在所述應力緩和層為所述多個Au層中的一層的情況下，所述應力緩和層的厚度與其它的所述Au層的平均厚度不同，

在所述應力緩和層為所述多個Sn層中的一層的情況下，所述應力緩和層的厚度與其它的所述Sn層的平均厚度不同。

6.根據權利要求5所述的棱鏡，其特征在于：

所述應力緩和層的厚度為其它的所述Au層或其它的所述Sn層的平均厚度的1/2以上5倍以下。

7.根據權利要求5所述的棱鏡，其特征在于：

所述應力緩和層的厚度為其它的所述Au層或其它的所述Sn層的平均厚度的1/5以上1/2以下。

8.根據權利要求1～4中任一項所述的棱鏡，其特征在于：

在所述密合膜的層疊方向上，設遠離所述棱鏡主體的一側為外側時，所述第二層部分的最外層為所述第二層部分中最薄的層。

9.根據權利要求8所述的棱鏡，其特征在于：

在所述第二層部分，越是位于外側的層越薄。

10.根據權利要求4所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分具有多個所述Au層和多個所述Sn層兩者，

所述多個Au層的厚度彼此相同，并且，所述多個Sn層中，越是位于外側的Sn層，厚度越厚。

11.根據權利要求4所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分具有多個所述Au層和多個所述Sn層兩者，

所述多個Au層中，越是位于外側的Au層，厚度越薄，并且所述多個Sn層的厚度彼此相同。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分中的所述Au層和所述Sn層的合計層數為3層以上99層以下。

13.根據權利要求12所述的棱鏡，其特征在于：

所述第二層部分中的所述Au層和所述Sn層的合計層數為15層以上35層以下。

14.根據權利要求1～13中任一項所述的棱鏡，其特征在于：

所述密合膜的整體厚度為1μm以上10μm以下。