[發明專利]蒸鍍掩模和蒸鍍掩模的制造方法在審
| 申請號： | 201980089942.2 | 申請日： | 2019-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN113330135A | 公開（公告）日： | 2021-08-31 |
| 發明（設計）人： | 觀田康克 | 申請（專利權）人： | 株式會社日本顯示器 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸萬杰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸鍍掩模 制造 方法 | ||
1.一種蒸鍍掩模，其特征在于，包括：
形成有多個開口的薄膜狀的掩模主體；
設置在所述掩模主體的周圍的保持框；和
連接所述掩模主體與所述保持框的連接部件，
在俯視時，與所述保持框接觸的區域中的所述連接部件的第1外緣，相比于與所述連接部件接觸的所述掩模主體的第2外緣，位于外側，
在觀察截面時，在從所述第1外緣至所述第2外緣之間，所述連接部件的表面逐漸靠近所述第2外緣。
2.如權利要求1所述的蒸鍍掩模，其特征在于：
在觀察截面時，所述連接部件的表面為從所述第1外緣去往所述第2外緣的臺階狀。
3.如權利要求1所述的蒸鍍掩模，其特征在于：
在觀察截面時，在從所述第1外緣至所述第2外緣之間，所述連接部件的表面不從所述第2外緣一側向所述第1外緣一側突出。
4.如權利要求1所述的蒸鍍掩模，其特征在于：
所述連接部件是鍍層。
5.一種蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于：
準備形成有多個開口的掩模主體，
在具有第1面和與所述第1面相對的第2面的保持框的所述第1面上，以使所述第1面的一部分露出的方式形成第1剝離層，
在所述第1剝離層上形成第2剝離層，使得所述第2剝離層的一部分從所述第1剝離層露出，
以與所述保持框的所述第1面與所述第2面之間的第3面、所述第1剝離層的側面、所述第2剝離層的側面和所述掩模主體接觸的方式形成連接部件，
除去所述第1剝離層和所述第2剝離層，以露出所述保持框的第1面和與所述第1剝離層以及所述第2剝離層相接觸地形成的所述連接部件的表面。
6.如權利要求5所述的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于：
在俯視時，與所述保持框接觸的區域中的所述連接部件的第1外緣，相比于與所述連接部件接觸的所述掩模主體的第2外緣，位于外側，
在觀察截面時，在從所述第1外緣至所述第2外緣之間，所述連接部件的表面逐漸靠近所述第2外緣。
7.如權利要求6所述的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于：
在觀察截面時，所述連接部件的表面為從所述第1外緣去往所述第2外緣的臺階狀。
8.如權利要求6所述的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于：
在觀察截面時，在從所述第1外緣至所述第2外緣之間，所述連接部件的表面不從所述第2外緣側向所述第1外緣側突出。
9.如權利要求5所述的蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于：
所述連接部件是用電解電鍍法形成的。
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