[發明專利]工件保持部旋轉單元及真空處理裝置

在審

• 申請號: 201980089399.6
• 申請日: 2019-11-26
• 公開（公告）號: CN113316661A
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發明（設計）人: 高田直毅;竹內慎;荒木宏祐;東大助;森山和男;清水裕貴
• 申請（專利權）人: 東和株式會社
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 賀財俊;臧建明

1.一種工件保持部旋轉單元，包括：

旋轉軸；

旋轉部，能夠以所述旋轉軸為中心進行旋轉；

多個工件保持部，能夠保持工件，配置成在以所述旋轉軸為中心的圓周上排列，且以能夠以相對于所述旋轉軸的軸線傾斜的軸線為中心進行旋轉的方式設置于所述旋轉部；以及

旋轉驅動部，形成為以所述旋轉軸為中心的圓盤狀，并且配置成與多個所述工件保持部接觸，且伴隨著所述旋轉部的旋轉使所述工件保持部旋轉。

2.根據權利要求1所述的工件保持部旋轉單元，其中所述旋轉軸形成為能夠利用來自動力源的動力進行旋轉，

所述旋轉部以能夠與所述旋轉軸一體地旋轉的方式設置于所述旋轉軸，

所述旋轉驅動部能夠相對旋轉地設置于所述旋轉軸，

所述工件保持部旋轉單元還包括限制所述旋轉驅動部的旋轉的限制部。

3.根據權利要求1或2所述的工件保持部旋轉單元，其中所述旋轉部、設置于所述旋轉部的所述工件保持部、及使所述工件保持部旋轉的所述旋轉驅動部沿著所述旋轉軸的軸線方向設置有多個。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的工件保持部旋轉單元，其中所述工件保持部包括：

旋轉支撐部，保持所述工件，并且能夠旋轉地支撐于所述旋轉部；以及

被旋轉驅動部，固定于所述旋轉支撐部，且以與所述旋轉驅動部接觸的方式配置。

5.根據權利要求4所述的工件保持部旋轉單元，其中所述旋轉支撐部經由軸承構件而能夠旋轉地支撐于所述旋轉部。

6.根據權利要求4或5所述的工件保持部旋轉單元，其中所述旋轉支撐部以如下方式配置：

下部插通至所述旋轉部，且上部自所述旋轉部朝向上方突出，

所述被旋轉驅動部在所述旋轉部的上方設置于所述旋轉支撐部。

7.一種真空處理裝置，包括如權利要求1至6中任一項所述的工件保持部旋轉單元。