[發(fā)明專利]氣體激光裝置、氣體激光裝置的激光的出射方法、以及電子器件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980088640.3
• 申請(qǐng)日: 2019-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN113287234B
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 手井大輔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01S3/036
• 分類號(hào): H01S3/036
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 孫明浩;崔成哲

1.一種氣體激光裝置，其中，

所述氣體激光裝置具備：

腔，該腔內(nèi)被封入激光氣體；

窗，其設(shè)置于所述腔，且供激光透射；

光路管，其包圍所述腔的設(shè)置有所述窗的位置而與所述腔連接；

氣體供給口，其向所述光路管內(nèi)供給吹掃氣體；

排氣口，其排出所述光路管內(nèi)的氣體；以及

控制部，

所述排氣口包括主排氣口和副排氣口，該主排氣口以使所述氣體在所述窗的表面流動(dòng)的方式設(shè)置于所述光路管，該副排氣口在所述光路管內(nèi)的比設(shè)置有所述窗的位置及設(shè)置有所述主排氣口的位置靠所述氣體流動(dòng)的上游側(cè)設(shè)置于所述光路管，

所述控制部在從所述腔出射所述激光之前使所述氣體從所述主排氣口排出，在從所述腔出射所述激光的至少部分期間內(nèi)，使所述氣體從所述副排氣口排出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述主排氣口設(shè)置在所述窗的附近。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部在從所述副排氣口排出所述氣體時(shí)停止從所述主排氣口排出所述氣體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部在開始從所述主排氣口排出所述氣體起經(jīng)過(guò)規(guī)定的第1期間之后，使所述氣體從所述副排氣口排出。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部在開始從所述主排氣口排出所述氣體且所述光路管內(nèi)的氧濃度成為規(guī)定的第1濃度以下的情況下，使所述氣體從所述副排氣口排出。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體激光裝置，其中，

所述氣體激光裝置還具備殼體，該殼體收容有所述腔及所述光路管，且釋放出來(lái)自所述排氣口的所述氣體，

所述控制部在所述殼體內(nèi)的氧濃度成為規(guī)定的第2濃度以下的情況下，使所述氣體從所述副排氣口排出，

所述第2濃度是所述光路管內(nèi)的氧濃度為所述規(guī)定的第1濃度以下的情況下的所述殼體內(nèi)的氧濃度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部在開始從所述副排氣口排出所述氣體之后使所述激光從所述腔出射。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體激光裝置，其中，

所述控制部在開始從所述副排氣口排出所述氣體起經(jīng)過(guò)了規(guī)定的第2期間之后，使所述激光從所述腔出射。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述腔的設(shè)置有所述窗的位置突出，使得與所述光路管的內(nèi)壁隔開間隙而進(jìn)入到所述光路管內(nèi)，

所述主排氣口設(shè)置于所述光路管中的包含通過(guò)所述窗并與所述激光的行進(jìn)方向垂直的面在內(nèi)的位置、或者所述光路管中的比所述面靠所述腔側(cè)的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

在比所述副排氣口靠所述氣體的流動(dòng)的上游側(cè)配置有供所述激光入射的光學(xué)元件。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其中，

所述氣體激光裝置還具備壁部，該壁部設(shè)置在所述光路管內(nèi)的所述主排氣口與所述副排氣口之間，并且形成有供所述激光透射的狹縫。