[發(fā)明專利]利用填充液體從多個腔中選擇性地填充一組腔的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201980088429.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN113302752A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 埃馬紐埃爾·奧里爾;法布里斯·埃米厄;弗雷德里克·羅克斯;烏爾里希·休坡瑞曼內(nèi)恩;希爾維亞·斯卡林蓋拉;蒂費納·杜邦;克萊門斯·塔萊特;阿布德海·阿波萊奇
• 申請（專利權(quán)）人: 原子能和替代能源委員會;奧雷迪亞公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/20;H01L33/08;H01L33/18;H01L33/44;H01L33/50
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 江海;姚開麗

S 66194GR?G?EXT PCT 29摘要本發(fā)明涉及一種利用填充液體(15)選擇性地填充多個腔(10)之中的第一腔(11)的方法，每個腔在襯底的正面(21)處向外打開，該方法包括以下步驟：a)處理步驟，旨在改變第一腔(11)的第一內(nèi)表面(12)的表面能或其他腔的第二內(nèi)表面(122)的表面能，使得第一表面(12)具有第一表面能，且第二表面具有第二表面能；b)包括用于散布填充液體(15)的序列的步驟；調(diào)節(jié)第一能量和第二能量，使得第一表面和第二表面分別對液體(15)施加吸引效應(yīng)和排斥效應(yīng)。用于摘要的1個圖：圖2d。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于選擇性地填充腔的方法。特別地，本發(fā)明涉及一種利用填充材料選擇性地填充在底部容納發(fā)光二極管的腔的方法。

根據(jù)本發(fā)明的填充方法有利地用于制造顯示器或投影設(shè)備的彩色像素。

該填充方法有利地用于制造電子、光電、機電(MEMS)或光電機械(MOEMS)設(shè)備。

背景技術(shù)

用于制造微電子、光電、機電或甚至光電機械設(shè)備的方法可涉及利用填充液體填充腔。

根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的第一技術(shù)，這種填充可以是多個腔的共同填充。

特別地，共同填充可包括將填充液體散布在被稱為正面的面上，在該面上腔向外打開，特別是通過旋轉(zhuǎn)器打開。

然而，這種技術(shù)并不令人滿意。

實際上，這種技術(shù)不可能將腔彼此區(qū)分開，且例如以選擇性方式利用不同的填充液體填充腔。

為了解決這個問題，已提出一種用于單獨填充腔的方法，例如利用打印裝置或滴注分配裝置來填充腔。

然而，這種技術(shù)也不令人滿意。

實際上，后面的這種技術(shù)嚴重限制了生產(chǎn)率。

此外，這種技術(shù)在以單獨的方式填充非常小尺寸的腔方面失去其功效。

最后，這種技術(shù)的成本并不總是與工業(yè)的當(dāng)前要求兼容。

然而，腔的選擇性填充特別令人感興趣，特別是對于顯示設(shè)備(或屏幕)或投影設(shè)備的制造。

例如，顯示設(shè)備可包括發(fā)光二極管(LED)，特別是被設(shè)置為產(chǎn)生多種顏色的LED。

LED可以特別地是納米線LED，諸如在說明書的末尾引用的文獻[1]中描述的并在圖1中示出的那些LED。

在該顯示設(shè)備中，LED形成在腔C的底部，腔C在支撐襯底的被稱為正面的面處向外打開。在每個腔的底部上方具有壁P，壁P稱為側(cè)壁，且每個腔的底部與壁P一起界定腔體積V。

然后用被稱為封裝材料M的材料填充腔體積，該材料填充有磷光體，磷光體被配置為將可能由LED發(fā)射的電磁輻射轉(zhuǎn)換成具有不同波長的電磁輻射。

在彩色顯示設(shè)備的情況下，腔及其LED布置在腔組中以形成像素。

然后通過利用填充有磷光體的封裝材料填充所述像素的每個腔來獲得給定像素顯示不同顏色的能力，磷光體從一個腔到另一個腔具有不同的光轉(zhuǎn)換性質(zhì)。

因此，在文獻[1]中提出通過噴墨的方式利用封裝材料(例如，填充有磷光體的硅酮基質(zhì))選擇性地填充給定像素的腔。

如上所述，文獻[1]中描述的填充技術(shù)并不令人滿意。

在說明書的末尾引用的文獻[2]提出了選擇性地填充腔的替代方法。

特別地，參考文獻[2]的圖1a，文獻[2]提出調(diào)整腔的幾何形狀，特別地使用不同尺寸的腔。

更確切地說，文獻[2]考慮尺寸小且形狀為圓柱形的第一類型的腔，以及形成較大尺寸的互連通道的網(wǎng)絡(luò)的第二類型的腔。