[發明專利]利用填充液體從多個腔中選擇性地填充一組腔的方法

在審

• 申請號: 201980088429.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN113302752A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 埃馬紐埃爾·奧里爾;法布里斯·埃米厄;弗雷德里克·羅克斯;烏爾里希·休坡瑞曼內恩;希爾維亞·斯卡林蓋拉;蒂費納·杜邦;克萊門斯·塔萊特;阿布德海·阿波萊奇
• 申請（專利權）人: 原子能和替代能源委員會;奧雷迪亞公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/20;H01L33/08;H01L33/18;H01L33/44;H01L33/50
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 江海;姚開麗

1.一種用于利用填充液體(15)選擇性地填充至少一組腔(10)中被稱為第一腔(11)的腔的方法，每個腔向外打開到襯底的被稱為正面(21)的面上，每個腔包括內表面，所述方法包括以下步驟：

a)處理步驟，所述處理步驟用于改變所述第一腔(11)的被稱為第一表面(12₁)的內表面的表面能，或者用于改變除了所述第一腔(11)之外的被稱為第二腔的腔的被稱為第二表面(12₂)的內表面的表面能，使得所述第一表面(12₁)具有第一表面能，且所述第二表面具有不同于所述第一表面能的第二表面能；

b)包括在所述正面(21)上散布所述填充液體(15)的至少一個序列的步驟；

調節所述第一能量和所述第二能量，使得所述第一表面和所述第二表面分別對所述填充液體(15)施加吸引效應和排斥效應，步驟b)從而使得利用所述填充液體(15)相對于所述第二腔選擇性地填充所述第一腔(11)。

2.根據權利要求1所述的填充方法，其中，處理步驟b)包括選擇性地在所述第一表面或所述第二表面上執行的等離子體處理或利用紫外輻射的處理。

3.根據權利要求1或2所述的填充方法，其中，通過分別掩蔽所述第二表面或所述第一表面，選擇性地在所述第一表面或所述第二表面上執行步驟a)。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的填充方法，其中，在步驟a)之前是通過覆蓋所述第一表面(12₁)和所述第二表面(12₂)來形成被稱為鈍化層(14)的層的步驟a1)，所述鈍化層(14)由被稱為活性材料的材料制成，所述材料被配置為改變其表面能對步驟a)的處理效果的影響。

5.根據權利要求4所述的填充方法，其中，所述鈍化層包括如下選擇的材料中的至少一種材料：硅氧烷化合物、氟硅烷、含氟聚合物、十八烷基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、丙基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、辛基三甲氧基硅烷、辛基三乙氧基硅烷、十二烷基三乙氧基硅烷、二甲氧基-甲基(3,3,3-三氟丙基)硅烷、三氯(十八烷基)硅烷、三氯(3,3,3-三氟丙基)硅烷、1H,1H,2H,2H-全氟癸基三甲氧基硅烷。

6.根據權利要求4或5所述的填充方法，其中，所述鈍化層(14)根據化學氣相沉積方法形成，特別是通過等離子體來活化。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的填充方法，其中，散布所述填充液體(15)的步驟涉及使用刮刀或狹縫模頭。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的填充方法，其中，所述填充液體(15)是包括溶劑、填充基質和被稱為活性電荷的電荷的混合物。

9.根據權利要求8所述的填充方法，其中，步驟b)包括散布填充液體(15)的多個優選地兩個序列，且在每個散布序列之后執行所述溶劑的蒸發序列。

10.根據權利要求9所述的填充方法，其中，所述填充液體(15)的蒸發序列包括旨在蒸發所述溶劑的熱處理步驟。

11.根據權利要求10所述的填充方法，其中，所述填充基質還適于在所述熱處理步驟期間固化，從而將所述活性電荷捕獲在所述填充基質的體積中。

12.根據權利要求8至11中任一項所述的填充方法，其中，所述溶劑包括丙二醇單甲醚乙酸酯的溶液。

13.根據權利要求8至12中任一項所述的填充方法，其中，所述填充基質包括丙烯酸酯型透明材料，有利地為聚(甲基丙烯酸甲酯)PMMA或硅樹脂或聚合物。

14.根據權利要求8至13中任一項所述的填充方法，其中，所述活性電荷包括轉換材料，特別是光學轉換材料。