[發明專利]彈性波裝置、分波器以及通信裝置

在審

• 申請號: 201980082801.8
• 申請日: 2019-12-20
• 公開（公告）號: CN113302840A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 野添惣一朗
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64;H03H9/72
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 伍志健;林明校

[解決的問題]提供一種彈性波裝置，其相對于電極指的指間距，可在相對較高的頻率下實現諧振。[解決方案]彈性波裝置1，包括：基板3；多層膜5，位于基板3上；LT層7，位于多層膜5上，由LiTaO₃的單晶構成；IDT電極19，位于LT層7上。當以IDT電極19的電極指27的指間距p的兩倍為λ時，LN層7的厚度為0.3λ以下。LT層7的歐拉角為(0°±10°，?25°以上15°以下，0°以上360°以下)。

技術領域

本公開涉及一種利用彈性波的彈性波裝置，具備該彈性波裝置的分波器以及通信裝置。

背景技術

已知一種彈性波裝置，用于對壓電體上的IDT(InterDigital Transducer，叉指換能器)電極施加電壓，以產生在壓電體中傳播的彈性波。IDT電極包括一對梳齒電極。一對梳齒電極被配置為互相嚙合，每一個梳齒電極中均具有多個電極指(相當于梳齒)。通過彈性波裝置，形成以電極指的指間距的兩倍作為波長的彈性波的駐波，該駐波的頻率成為諧振頻率。因此，彈性波裝置的諧振點由電極指的指間距所限定。

近年來，人們提出了一種彈性波裝置，該彈性波裝置包括：基板；聲反射層，位于基板上；壓電體層，位于聲反射層上；以及，IDT電極，位于壓電體層上。聲反射層由低聲阻抗層和高聲阻抗層交替地層疊而成。通過這樣的構造，可以將板波用作彈性波，通過在5GHz具有諧振的3μm左右的電極指的周期來實現。

發明內容

發明要解決的問題

期望提供一種相對于電極指的指間距，可實現頻率相對較高的諧振的彈性波裝置、分波器和通信裝置。

解決問題所采用的手段

根據本公開的一方面的彈性波裝置，包括：LN層，由LiNbO₃的單晶構成；IDT電極，位于所述LN層上。當所述IDT電極的電極指的指間距p的兩倍為λ時，所述LN層的厚度為0.3λ以下；所述LT層的歐拉角(θ，ψ)為(0°±10°，-25°以上15°以下，0°以上360°以下)。

根據本公開的一個方面的分波器，包括：天線端子；發送濾波器，用于過濾輸出至所述天線端子的信號；以及，接收濾波器，用于過濾從所述天線端子輸入的信號；所述發送濾波器以及所述接收濾波器的至少一方包括上述的彈性波裝置。

根據本公開的一個方面的通信裝置，包括：天線；上述分波器，該分波器的所述天線端子與所述天線連接；IC，相對于所述發送濾波器以及所述接收濾波器，在信號路徑上被連接于與所述天線端子相反的一側。

發明效果

通過上述結構，相對于電極指的指間距，能夠實現頻率相對較高的諧振。

附圖說明

圖1為表示實施例中的彈性波裝置的俯視圖。

圖2為圖1中的彈性波裝置沿II-II線的截面圖。

圖3中，圖3(a)、圖3(b)以及圖3(c)分別為表示各實施例的諧振器的阻抗特性、相位特性、諧振頻率和反諧振頻率的差異的圖。

圖4中，圖4(a)、圖4(b)、圖4(c)以及圖4(d)分別為表示各實施例的諧振器的阻抗特性、相位特性、諧振頻率、諧振頻率和反諧振頻率的差異以及最大相位值的圖。

圖5中，圖5(a)、圖5(b)以及圖5(c)為表示多個諧振器的配置例的俯視圖。

圖6為表示比較例的諧振器的特性的線圖。

圖7中，圖7(a)、圖7(b)以及圖7(c)與圖3相對應，但LN層的厚度與圖3不同。

圖8中，圖8(a)以及圖8(b)為表示實施例的諧振器的阻抗特性以及相位特性的線圖。