[發明專利]光檢測裝置、光檢測系統及濾光器陣列

在審

• 申請號: 201980081721.0
• 申請日: 2019-12-11
• 公開（公告）號: CN113167649A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 石川篤;稻田安壽
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/36;G01J3/51;G02B5/28
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

有關本發明的一形態的光檢測裝置具備濾光器陣列和圖像傳感器；所述濾光器陣列是包括二維排列的多個濾光器的濾光器陣列，包含在上述多個濾光器中的第1及第2濾光器各自包括第1反射層、第2反射層及在它們之間的中間層，并且具有共振構造，該共振構造具有等級相互不同的多個共振模式，上述第1及第2濾光器的上述中間層的折射率及/或厚度根據濾光器而不同，上述第1及第2濾光器各自的透射光譜在包含于某個波段中的多個波長處具有透射率的極大值，上述多個波長與上述多個共振模式分別對應；所述圖像傳感器包括各自被配置在接受透射過上述多個濾光器中的1個濾光器的光的位置、對于上述波段的光具有感度的多個光檢測元件。

技術領域

本發明涉及光檢測裝置、光檢測系統及濾光器陣列。

背景技術

通過利用分別為窄帶寬的許多個帶、例如幾十個帶的光譜信息，能夠掌握通過以往的RGB圖像不能掌握的對象物的詳細的物性。取得這樣的多波長的信息的照相機被稱作“高光譜照相機”。例如，如在專利文獻1至5中公開那樣，高光譜照相機在食品檢查、生物體檢查、醫藥品開發及礦物的成分分析等的各種各樣的領域中被利用。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：美國專利申請公開第2016/138975號說明書

專利文獻2：美國專利第7907340號說明書

專利文獻3：美國專利第9929206號說明書

專利文獻4：日本特表2013－512445號公報

專利文獻5：日本特表2015－501432號公報

發明內容

發明要解決的課題

本發明的目的是提供一種能夠使高光譜照相機的波長分辨率提高的新的光檢測裝置。

用來解決課題的手段

有關本發明的一技術方案的光檢測裝置具備濾光器陣列和圖像傳感器；所述濾光器陣列是包括二維排列的多個濾光器的濾光器陣列，上述多個濾光器包括第1濾光器及第2濾光器，上述第1濾光器及上述第2濾光器各自包括第1反射層、第2反射層以及在上述第1反射層與上述第2反射層之間的中間層，并且具有共振構造，該共振構造具有等級相互不同的多個共振模式，從由上述第1濾光器的上述中間層的折射率及厚度構成的組中選擇的至少1方，與從由上述第2濾光器的上述中間層的折射率及厚度構成的組中選擇的上述至少1方不同，上述第1濾光器及上述第2濾光器各自的透射光譜在包含于某個波段中的多個波長處分別具有透射率的極大值，上述多個波長與上述多個共振模式分別對應；所述圖像傳感器是包括多個光檢測元件的圖像傳感器，上述多個光檢測元件各自被配置在接受透射過上述多個濾光器中的1個濾光器的光的位置，并且對于上述波段的光具有感度。

發明效果

根據本發明，能夠使高光譜照相機的波長分辨率提高。

附圖說明

圖1是示意地表示例示的實施方式的光檢測系統的圖。

圖2A是示意地表示濾光器陣列的例子的圖。

圖2B是表示包含在對象波段中的多個波段各自的光的透射率的空間分布的一例的圖。

圖2C是表示在圖2A所示的濾光器陣列的多個區域中包含的2個區域的一方的透射光譜的例子的圖。

圖2D是表示在圖2A所示的濾光器陣列的多個區域中包含的2個區域的另一方的透射光譜的例子的圖。

圖3A是用來說明對象波段與包含在其中的多個波段的關系的圖。

圖3B是用來說明對象波段與包含在其中的多個波段的關系的圖。