[發明專利]光檢測裝置、光檢測系統及濾光器陣列

在審

• 申請號: 201980081721.0
• 申請日: 2019-12-11
• 公開（公告）號: CN113167649A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 石川篤;稻田安壽
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/36;G01J3/51;G02B5/28
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

1.一種光檢測裝置，

具備濾光器陣列和圖像傳感器；

所述濾光器陣列是包括二維排列的多個濾光器的濾光器陣列，

上述多個濾光器包括第1濾光器及第2濾光器，

上述第1濾光器及上述第2濾光器各自包括第1反射層、第2反射層以及在上述第1反射層與上述第2反射層之間的中間層，并且具有共振構造，該共振構造具有等級相互不同的多個共振模式，

從由上述第1濾光器的上述中間層的折射率及厚度構成的組中選擇的至少1方，與從由上述第2濾光器的上述中間層的折射率及厚度構成的組中選擇的上述至少1方不同，

上述第1濾光器及上述第2濾光器各自的透射光譜在包含于某個波段中的多個波長處分別具有透射率的極大值，

上述多個波長與上述多個共振模式分別對應；

所述圖像傳感器是包括多個光檢測元件的圖像傳感器，

上述多個光檢測元件各自被配置在接受透射過上述多個濾光器中的1個濾光器的光的位置，并且對于上述波段的光具有感度。

2.如權利要求1所述的光檢測裝置，

上述波段是400nm以上且700nm以下。

3.如權利要求2所述的光檢測裝置，

上述透射光譜在包含于上述波段中的4個以上的波長處分別具有透射率的極大值。

4.如權利要求2所述的光檢測裝置，

上述透射光譜在包含于上述波段中的6個以上的波長處分別具有透射率的極大值。

5.如權利要求1所述的光檢測裝置，

當設上述第1濾光器或上述第2濾光器的上述中間層的厚度為L，

設上述中間層對于波長700nm的光的折射率為n₁，

設上述中間層對于波長400nm的光的折射率為n₂，

設m為1以上的整數時，存在至少1個滿足

[數式1]

n₁L≤350m

及

[數式2]

n₂L≥200(m+1)的兩者的m。

6.如權利要求1所述的光檢測裝置，

當設上述第1濾光器或上述第2濾光器的上述中間層的厚度為L，

設上述中間層對于波長700nm的光的折射率為n₁，

設上述中間層對于波長400nm的光的折射率為n₂，

設m為1以上的整數時，存在至少1個滿足

[數式3]

n₁L≤350m

及

[數式4]

n₂L≥200(m+3)

的兩者的m。

7.如權利要求1所述的光檢測裝置，

當設上述第1濾光器或上述第2濾光器的上述中間層的厚度為L，

設上述中間層對于波長700nm的光的折射率為n₁，

設上述中間層對于波長400nm的光的折射率為n₂，

設m為1以上的整數時，存在至少1個滿足

[數式5]

n₁L≤350m

及

[數式6]

n₂L≥200(m+5)

的兩者的m。

8.如權利要求1～7中任一項所述的光檢測裝置，

當設上述第1濾光器的上述中間層的厚度為L，

設上述第2濾光器的上述中間層的厚度為L+ΔL，

設上述第1濾光器的上述中間層的折射率及上述第2濾光器的上述中間層的折射率為n，

設向上述濾光器陣列入射的光的最大入射角為θ_i時，滿足

[數式7]

9.如權利要求8所述的光檢測裝置，

還滿足

[數式8]