[發(fā)明專利]流量限制件、流量限制組件和光刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980080784.4
• 申請(qǐng)日: 2019-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN113168120A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·B·C·G·范艾爾頓;P·J·J·H·A·哈彼特斯;R·范德米瑞東克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;F15D1/02
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王益

1.一種用于布置于管道中以便限制所述管道中的流體的流量的流量限制件，所述流量限制件包括：

主體，所述主體沿軸線延伸，所述主體包括：

中心部分，所述中心部分沿所述軸線具有恒定的截面積；

上游部分，所述上游部分沿所述軸線連接至所述中心部分的上游側(cè)，其中所述上游部分的橫截面積在沿所述軸線的下游方向上單調(diào)地增加；以及

下游部分，所述下游部分連接至所述中心部分的下游側(cè)，其中所述下游部分的橫截面積沿所述下游方向單調(diào)地減小；并且

其中所述流量限制件還包括用于與管道的內(nèi)表面接合的多個(gè)中心部分突出部，其中每個(gè)中心部分突出部沿垂直于所述中心部分的表面的方向從所述中心部分的表面突伸出小于500μm的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量限制件，其中每個(gè)中心部分突出部沿垂直于所述中心部分的表面的方向從所述中心部分的表面突伸出大于10μm的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量限制件，其中所述主體繞所述軸線圓柱地對(duì)稱，

所述中心部分包括圓柱體，并且

所述多個(gè)突出部中的每個(gè)突出部沿垂直于所述軸線的方向突伸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流量限制件，其中所述下游部分包括具有在從2°至15°范圍內(nèi)的錐角的錐體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量限制件，其中所述下游部分包括尖緣，所述尖緣被配置成引導(dǎo)流體沿平行于所述軸線的方向沿所述尖緣的表面流動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的流量限制件，還包括：

分流元件，所述分流元件被配置成在垂直于所述軸線的平面中完全環(huán)繞所述主體的所述下游部分，

其中所述分流元件被配置成沿垂直于所述軸線的方向與所述下游部分間隔開，使得所述分流元件與所述下游部分之間的距離沿所述下游方向單調(diào)地增加。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件包括圍繞所述下游部分同心地布置的截頭中空錐體。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流量限制件，其中下游部分包括錐體，并且其中所述截頭中空錐體具有在所述下游部分的錐體的錐角的0.3倍至0.7倍的范圍內(nèi)的錐角。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件在沿所述軸線的方向上比所述下游部分更短。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量限制件，其中所述分流元件包括用于與管道的內(nèi)表面接合的多個(gè)分流元件突出部，

其中所述軸線與所述分流元件突出部的端部表面之間的距離等于所述軸線與所述中心部分突出部的端部表面之間的距離。

11.一種流量限制組件，所述流量限制組件包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的流量限制件和管道，其中

所述管道包括管道內(nèi)表面；

所述流量限制件的主體同心地布置于所述管道內(nèi)，使得所述主體的中心部分與所述管道內(nèi)表面之間的距離是均一的；并且

所述流量限制件的中心部分突出部中的每個(gè)中心部分突出部與所述管道內(nèi)表面接合以便將所述流量限制件相對(duì)于所述管道保持在適當(dāng)?shù)奈恢茫⑶沂沟盟鲋黧w的所述中心部分與所述管道內(nèi)表面之間的距離小于500μm。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流量限制組件，其中所述管道與所述流量限制件的所述主體是呈圓柱形對(duì)稱的。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的流量限制組件，其中所述流量限制件是根據(jù)權(quán)利要求6至10中任一項(xiàng)所述的流量限制件，且其中

所述流量限制件的分流元件在垂直于所述軸線的平面中完全環(huán)繞所述流量限制件的下游部分，并且

所述分流元件沿垂直于所述軸線的方向與所述下游部分間隔開，使得分流板與所述下游部分之間的距離沿所述下游方向單調(diào)地增加。