[發(fā)明專利]泵送單元在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980077269.0 | 申請日： | 2019-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN113167277A | 公開（公告）日： | 2021-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | S·布蘭多林;M·魯斯科尼;J·瓦朗坦;Y·格勒尼耶 | 申請（專利權(quán)）人： | 普發(fā)真空公司 |
| 主分類號： | F04C25/02 | 分類號： | F04C25/02;F04C29/04;F04C18/12;F04C23/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務(wù)所 11247 | 代理人： | 雷明;吳鵬 |
| 地址： | 法國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單元 | ||
本發(fā)明涉及一種泵送單元，其包括：?粗真空泵；?羅茨真空泵(3)，該羅茨真空泵包括泵送級(7)，該泵送級具有定子(9)，在該定子內(nèi)，兩個羅茨轉(zhuǎn)子(5)被配置成以相反方向同步旋轉(zhuǎn)，以在入口孔(10)和出口孔(11)之間驅(qū)動待泵送的氣體；?管線(13)，該管線將所述出口孔(11)連接至所述粗真空泵(2)的入口(12)，其特征在于，所述出口孔(11)的邊緣和所述泵送級(7)中的每個轉(zhuǎn)子(5)之間的最短距離(d)至少小于3厘米。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種具有粗真空泵和羅茨真空泵的泵送單元，所述羅茨真空泵與所述粗真空泵串聯(lián)安裝并且在待泵送的氣體的流動方向上位于所述粗真空泵的上游。
背景技術(shù)
一些泵送單元用于被稱為“粉末”工藝的過程，因為它們涉及產(chǎn)生大量固體副產(chǎn)品的氣體。例如，某些制造半導(dǎo)體的方法就是這樣。
這些固體化合物會沉積在真空泵的內(nèi)表面上，并形成團聚體，最終限制用于氣體的通道尺寸，從而導(dǎo)致泵送能力的損失。
與真空泵的使用壽命相比，這些粉末的堆積相對較快，從而限制了在沒有維護操作的情況下的泵的使用周期。連接兩個真空泵的管線特別容易產(chǎn)生沉積物，特別是當(dāng)其具有高度彎曲的部分時，因此必須經(jīng)常拆除以進行清潔。然而，由于其在泵之間的受限位置和由于其尺寸較大，在不拆除兩個泵中的至少一個的情況下，很難拆除泵間管線，這使得有必要拆除兩個泵中的至少一個。
因此，除了頻繁維護外，維護也相對耗時且復(fù)雜。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種改進的泵送單元，其至少部分地解決現(xiàn)有技術(shù)的一個缺陷。
為此，本發(fā)明的主題是一種泵送單元，其具有：
-粗真空泵，
-羅茨真空泵，其包括具有定子的泵送級，在該定子內(nèi)，兩個羅茨轉(zhuǎn)子被配置成沿相反方向同步旋轉(zhuǎn)，以在入口孔(輸入管口)和出口孔(輸出管口)之間驅(qū)動待泵送的氣體，
-管線，其將所述出口孔連接至粗真空泵的入口(吸入口)。
所述出口孔的邊緣和所述泵送級中的各個轉(zhuǎn)子之間的最短距離例如至少小于三厘米。
所述泵送單元可單獨或組合地具有下述一個或多個特征。
所述最短距離例如小于2厘米，例如小于1厘米，例如小于0.5厘米，例如大于0.1厘米。
該距離是在運行中當(dāng)轉(zhuǎn)子依次移動到盡可能靠近出口孔的位置時最短的距離。出口孔與這些轉(zhuǎn)子的軸線總體上等距地定位。因此，所述出口孔與所述兩個轉(zhuǎn)子中的每個之間的距離均相同。
因此，羅茨真空泵的出口孔更靠近轉(zhuǎn)子掃過的區(qū)域。這樣的效果是，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，它們可以掃過堆積在出口孔邊緣上的粉末。因此，從出口孔伸出的任何粉末堆積物都可以通過機械效應(yīng)被自動刮掉，并與泵送氣體一起從泵送級被排出。因此，至少粉末堆積物一旦超過出口孔的邊緣與轉(zhuǎn)子掃過所限定的區(qū)域之間的距離時，轉(zhuǎn)子就可以清潔出口孔的邊緣。這種幾何結(jié)構(gòu)使得可以通過保持用于輸送至粗真空泵的氣體和粉末的永久通道而不允許粉末在羅茨真空泵的輸送處堆積來減少粉末在泵送級中的堵塞。因此，可以減少羅茨真空泵出口處的泵送能力損失。
出口孔例如具有圓形的形狀，其直徑小于5厘米，例如在2到5厘米之間。與羅茨真空泵出口孔的總體尺寸相比，具有這種尺寸的出口孔形成了限流。這種限流使得氣體一旦離開轉(zhuǎn)子就有可能加速，從而使粉末更容易由被泵送的氣體帶走。此外，相對于泵送單元的整體性能而言，由被泵送氣體流中的這種限流所帶來的壓降可以忽略不計。
管線可以是直的。因此，可以限制粉末在管線中的堆積，然后這些粉末由被泵送的氣體以及通過重力帶走。
根據(jù)第一示例，出口孔位于進入泵送級中的管線的上游管的末端。通過使管線在定子中延伸，進入定子中的上游管可以以簡單的方式使出口孔更靠近轉(zhuǎn)子。
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