[發明專利]泵送單元在審
| 申請號: | 201980077269.0 | 申請日: | 2019-11-15 |
| 公開(公告)號: | CN113167277A | 公開(公告)日: | 2021-07-23 |
| 發明(設計)人: | S·布蘭多林;M·魯斯科尼;J·瓦朗坦;Y·格勒尼耶 | 申請(專利權)人: | 普發真空公司 |
| 主分類號: | F04C25/02 | 分類號: | F04C25/02;F04C29/04;F04C18/12;F04C23/00 |
| 代理公司: | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人: | 雷明;吳鵬 |
| 地址: | 法國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單元 | ||
1.一種泵送單元(1),其具有:
-粗真空泵(2),
-羅茨真空泵(3),其包括具有定子(9;24;25)的泵送級(7),在所述定子內,兩個羅茨轉子(5)被配置成沿相反方向同步旋轉,以便在入口孔(10)和出口孔(11)之間驅動待泵送的氣體,
-管線(13;21;26;27),其將所述出口孔(11)連接至粗真空泵(2)的入口(12),
其特征在于,所述出口孔(11)的邊緣和所述泵送級(7)中的每個轉子(5)之間的最短距離(d)至少小于3厘米。
2.根據權利要求1所述的泵送單元(1),其特征在于,所述最短距離(d)小于2厘米,例如小于1厘米,例如小于0.5厘米,例如大于0.1cm。
3.根據前述權利要求中任一項所述的泵送單元(1),其特征在于,所述出口孔(11)具有圓形形狀,其直徑(D)小于5厘米,例如在2厘米到5厘米之間。
4.根據前述權利要求中任一項所述的泵送單元(1),其特征在于,所述出口孔(11)位于進入泵送級(7)中的管線(13)的上游管(14)的端部。
5.一種泵送單元(1),其具有:
-粗真空泵(2),
-羅茨真空泵(3),其包括具有定子(9)的泵送級(7),在所述定子內,兩個羅茨轉子(5)被配置成沿相反方向同步旋轉,以便在入口孔(10)和出口孔(11)之間驅動待泵送的氣體,
-管線(13;21;26),其將所述出口孔(11)連接至粗真空泵(2)的入口(12),
其特征在于,所述出口孔(11)位于進入泵送級(7)中的管線(13;21;26)的上游管(14)的端部。
6.根據權利要求4或5所述的泵送單元(1),其特征在于,所述上游管(14)從所述泵送級(7)的出口容座(15)伸出。
7.根據權利要求4至6之一所述的泵送單元(1),其特征在于,其具有冷卻回路(30),所述冷卻回路被配置成至少部分地冷卻所述管線(13)的上游管(14)。
8.根據前一權利要求所述的泵送單元(1),其特征在于,所述冷卻回路(30)具有圍繞所述管線(13)的上游管(14)的基部的夾套(31),所述夾套(31)的入口(32)和出口(33)允許冷卻劑流過由所述夾套(31)和所述上游管(14)形成的雙層壁的空間。
9.根據前一權利要求所述的泵送單元(1),其特征在于,所述入口(32)位于所述冷卻回路(30)的入口管(34)的端部,所述出口(33)位于所述冷卻回路(30)的出口管(33)的端部,所述入口管(34)和所述出口管(33)伸入到所述雙層壁的空間內。
10.根據前一權利要求所述的泵送單元(1),其特征在于,所述出口管(33)的長度大于所述入口管(34)的長度。
11.根據權利要求6或7-10中任一項并且結合權利要求6所述的泵送單元(1),其特征在于,至少出口容座(15)的底部(16)是可拆卸的。
12.根據權利要求6或7-11中任一項并且結合權利要求6所述的泵送單元(1),其特征在于,所述出口容座(15)一方面包括形成在所述泵送級(7)的定子(9)中的周向部分(17),另一方面包括緊固至所述管線(13;21;26)的上游管(14)上的底部(16)。
13.根據權利要求4至12之一所述的泵送單元(1),其具有配置成支撐羅茨真空泵(3)的框架(6),其特征在于,所述管線(21)具有可從所述上游管(14)拆下的下游部分(20)。
14.根據前一權利要求所述的泵送單元(1),其特征在于,所述下游部分(20)具有波紋管(23)。
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