[發明專利]泵送單元

在審

• 申請號: 201980077269.0
• 申請日: 2019-11-15
• 公開（公告）號: CN113167277A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: S·布蘭多林;M·魯斯科尼;J·瓦朗坦;Y·格勒尼耶
• 申請（專利權）人: 普發真空公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C29/04;F04C18/12;F04C23/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 雷明;吳鵬

1.一種泵送單元(1)，其具有：

-粗真空泵(2)，

-羅茨真空泵(3)，其包括具有定子(9；24；25)的泵送級(7)，在所述定子內，兩個羅茨轉子(5)被配置成沿相反方向同步旋轉，以便在入口孔(10)和出口孔(11)之間驅動待泵送的氣體，

-管線(13；21；26；27)，其將所述出口孔(11)連接至粗真空泵(2)的入口(12)，

其特征在于，所述出口孔(11)的邊緣和所述泵送級(7)中的每個轉子(5)之間的最短距離(d)至少小于3厘米。

2.根據權利要求1所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述最短距離(d)小于2厘米，例如小于1厘米，例如小于0.5厘米，例如大于0.1cm。

3.根據前述權利要求中任一項所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述出口孔(11)具有圓形形狀，其直徑(D)小于5厘米，例如在2厘米到5厘米之間。

4.根據前述權利要求中任一項所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述出口孔(11)位于進入泵送級(7)中的管線(13)的上游管(14)的端部。

5.一種泵送單元(1)，其具有：

-粗真空泵(2)，

-羅茨真空泵(3)，其包括具有定子(9)的泵送級(7)，在所述定子內，兩個羅茨轉子(5)被配置成沿相反方向同步旋轉，以便在入口孔(10)和出口孔(11)之間驅動待泵送的氣體，

-管線(13；21；26)，其將所述出口孔(11)連接至粗真空泵(2)的入口(12)，

其特征在于，所述出口孔(11)位于進入泵送級(7)中的管線(13；21；26)的上游管(14)的端部。

6.根據權利要求4或5所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述上游管(14)從所述泵送級(7)的出口容座(15)伸出。

7.根據權利要求4至6之一所述的泵送單元(1)，其特征在于，其具有冷卻回路(30)，所述冷卻回路被配置成至少部分地冷卻所述管線(13)的上游管(14)。

8.根據前一權利要求所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述冷卻回路(30)具有圍繞所述管線(13)的上游管(14)的基部的夾套(31)，所述夾套(31)的入口(32)和出口(33)允許冷卻劑流過由所述夾套(31)和所述上游管(14)形成的雙層壁的空間。

9.根據前一權利要求所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述入口(32)位于所述冷卻回路(30)的入口管(34)的端部，所述出口(33)位于所述冷卻回路(30)的出口管(33)的端部，所述入口管(34)和所述出口管(33)伸入到所述雙層壁的空間內。

10.根據前一權利要求所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述出口管(33)的長度大于所述入口管(34)的長度。

11.根據權利要求6或7-10中任一項并且結合權利要求6所述的泵送單元(1)，其特征在于，至少出口容座(15)的底部(16)是可拆卸的。

12.根據權利要求6或7-11中任一項并且結合權利要求6所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述出口容座(15)一方面包括形成在所述泵送級(7)的定子(9)中的周向部分(17)，另一方面包括緊固至所述管線(13；21；26)的上游管(14)上的底部(16)。

13.根據權利要求4至12之一所述的泵送單元(1)，其具有配置成支撐羅茨真空泵(3)的框架(6)，其特征在于，所述管線(21)具有可從所述上游管(14)拆下的下游部分(20)。

14.根據前一權利要求所述的泵送單元(1)，其特征在于，所述下游部分(20)具有波紋管(23)。