[發(fā)明專利]檢查指示信息產(chǎn)生裝置、基板檢查系統(tǒng)、檢查指示信息產(chǎn)生方法以及檢查指示信息產(chǎn)生程序

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980073163.3
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN112969925A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 椹木雅也
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德股份有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R31/50;H05K3/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

檢查指示信息產(chǎn)生裝置1包括：存儲部34，存儲導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息D1，所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息D1表示具備設(shè)有多個導(dǎo)電部P的表背一對基板面F1、F2、層疊在基板面F1、基板面F2之間的層即配線層L、及將配線層L的配線與多個導(dǎo)電部P連接的通孔V的基板B的導(dǎo)電部P、配線W及通孔V如何導(dǎo)通連接；以及檢查指示信息產(chǎn)生部33，執(zhí)行檢查指示信息產(chǎn)生處理，所述檢查指示信息產(chǎn)生處理基于導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息D1使形成于同一基板面的導(dǎo)通部P彼此成對地將多個導(dǎo)電部P兩兩組合，并產(chǎn)生表示所述組合后的一對導(dǎo)電部P的信息作為檢查指示信息D2。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種產(chǎn)生用于指示檢查基板時的檢查部位的檢查指示信息的檢查指示信息產(chǎn)生裝置、使用所述檢查指示信息進行檢查的基板檢查系統(tǒng)、檢查指示信息產(chǎn)生方法以及檢查指示信息產(chǎn)生程序。

背景技術(shù)

自之前以來，已知有如下的檢查裝置：針對設(shè)置在基板上的穿通孔(throughhole)，使探針跨越基板的表背分別與穿通孔的一端和另一端接觸，從而進行穿通孔的電阻測量(例如，參照專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開平09-043295號公報

發(fā)明內(nèi)容

但是，如所述的檢查裝置那樣，為了測量基板的表背之間的電壓，需要跨越基板的表背牽引將探針連接到電壓表上的配線。因此，測量配線的回路變大，容易拾取噪聲，結(jié)果可能會降低電阻測量精度。另外，如果跨越基板的表背，使探針分別接觸基板的表面和背面，由于在基板的兩面間對外來噪聲的影響產(chǎn)生差異，探針的檢測電壓上疊加噪聲，因此有可能降低電阻測量精度。

本發(fā)明的目的在于提供一種產(chǎn)生檢查指示信息的檢查指示信息產(chǎn)生裝置、包含所述檢查指示信息產(chǎn)生裝置的基板檢查系統(tǒng)、檢查指示信息產(chǎn)生方法以及檢查指示信息產(chǎn)生程序，所述檢查指示信息表示容易提高通孔的電阻測量精度的檢查部位。

本發(fā)明的一個例子所涉及的檢查指示信息產(chǎn)生裝置是用于對基板進行檢查的檢查指示信息產(chǎn)生裝置，所述基板具備設(shè)置有多個導(dǎo)電部的表背一對基板面、層疊于所述一對基板面之間的層即配線層、以及將所述配線層的配線和所述導(dǎo)電部連接的通孔，所述檢查指示信息產(chǎn)生裝置具備：存儲部，存儲表示所述基板的所述導(dǎo)電部、所述配線、及所述通孔如何導(dǎo)通連接的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息；以及檢查指示信息產(chǎn)生部，執(zhí)行檢查指示信息產(chǎn)生處理，所述檢查指示信息產(chǎn)生處理基于所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，使形成于同一所述基板面的所述導(dǎo)通部彼此成對地將所述導(dǎo)電部兩兩組合，并產(chǎn)生表示所述組合后的一對導(dǎo)電部的信息作為檢查指示信息。

另外，本發(fā)明的一個例子所涉及的檢查指示信息產(chǎn)生方法是用于對基板進行檢查的檢查指示信息產(chǎn)生方法，所述基板具備設(shè)置有多個導(dǎo)電部的表背一對基板面、層疊于所述一對基板面之間的層即配線層、以及將所述配線層的配線和所述導(dǎo)電部連接的通孔，所述檢查指示信息產(chǎn)生方法執(zhí)行檢查指示信息產(chǎn)生處理，所述檢查指示信息產(chǎn)生處理基于表示所述基板的所述導(dǎo)電部、所述配線、及所述通孔如何導(dǎo)通連接的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，使形成于同一所述基板面的所述導(dǎo)通部彼此成對地將所述導(dǎo)電部兩兩組合，并產(chǎn)生表示所述組合后的一對導(dǎo)電部的信息作為檢查指示信息。

另外，本發(fā)明的一個例子所涉及的檢查指示信息產(chǎn)生程序是用于對基板進行檢查的檢查指示信息產(chǎn)生程序，所述基板具備設(shè)置有多個導(dǎo)電部的表背一對基板面、層疊于所述一對基板面之間的層即配線層、以及將所述配線層的配線和所述導(dǎo)電部連接的通孔，所述檢查指示信息產(chǎn)生程序使計算機執(zhí)行檢查指示信息產(chǎn)生處理，所述檢查指示信息產(chǎn)生處理基于表示所述基板的所述導(dǎo)電部、所述配線、及所述通孔如何導(dǎo)通連接的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)信息，使形成于同一所述基板面的所述導(dǎo)通部彼此成對地將所述導(dǎo)電部兩兩組合，并產(chǎn)生表示所述組合的一對導(dǎo)電部的信息作為檢查指示信息。

另外，本發(fā)明的基板檢查系統(tǒng)包括：所述檢查指示信息產(chǎn)生裝置；以及基板檢查裝置，基于由所述檢查指示信息產(chǎn)生裝置產(chǎn)生的檢查指示信息，執(zhí)行所述通孔的檢查。

附圖說明