[發明專利]檢查指示信息產生裝置、基板檢查系統、檢查指示信息產生方法以及檢查指示信息產生程序

在審

• 申請號: 201980073163.3
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN112969925A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 椹木雅也
• 申請（專利權）人: 日本電產理德股份有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R31/50;H05K3/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種檢查指示信息產生裝置，是用于檢查基板的檢查指示信息產生裝置，所述基板包括：設置有多個導電部的表背一對的基板面、層疊于所述一對基板面之間的層即配線層、以及將所述配線層的配線與所述導電部連接的通孔，所述檢查指示信息產生裝置包括：

存儲部，存儲表示所述基板的所述導電部、所述配線及所述通孔如何導通連接的導電結構信息；以及

檢查指示信息產生部，執行如下檢查指示信息產生處理：基于所述導電結構信息，使形成于同一所述基板面的所述導通部彼此成對地將所述導電部兩兩組合，并產生表示所述組合后的一對導電部的信息作為檢查指示信息。

2.根據權利要求1所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述檢查指示信息產生處理是如下處理：在將所述多個導電部兩兩組合時，自所述經組合的一對導電部間的計算上的電阻值小的對開始依序組合，由此產生所述檢查指示信息。

3.根據權利要求1所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述檢查指示信息產生處理是如下處理：在將所述多個導電部兩兩組合時，自所述經組合的一對導電部間的，在所述基板面上的距離短的對開始依序組合，由此產生所述檢查指示信息。

4.根據權利要求1所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述檢查指示信息產生處理是如下處理：在將所述多個導電部兩兩組合時，自所述經組合的一對導電部間的導電路徑所包含的通孔的數量和配線的數量的合計少的對開始依序組合，由此產生所述檢查指示信息。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述檢查指示信息產生部還執行：

搜索處理：基于所述導電結構信息，搜索不位于在所述檢查指示信息產生處理中所組合的各對的自一個導電部到另一個導電部的導電路徑上的通孔；以及

導電部追加處理，在所述搜索處理中發現不位于所述導電路徑上的通孔的情況下，基于所述導電結構信息選擇位于包含所述發現的通孔的導電路徑兩端的一對導電部，并將表示所述一對導電部的信息追加到所述檢查指示信息中。

6.根據權利要求5所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述導電部追加處理是如下處理：自位于所述兩端的一對導電部中選擇滿足所述導電部對間的計算上的電阻值最小的條件的導電部對。

7.根據權利要求5所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述導電部追加處理是如下處理：自位于所述兩端的一對導電部中選擇滿足在所述基板面上的距離最短的條件的導電部對。

8.根據權利要求5所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述導電部追加處理是如下處理：自位于所述兩端的一對導電部中，選擇滿足所述導電部間的導電路徑所包含的通孔的數量與配線的數量的合計最少的條件的導電部對。

9.根據權利要求6至8中任一項所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述導電部追加處理是如下處理：在位于所述兩端的一對導電部中的形成于同一基板面的導電部彼此的導電部對中，優先選擇滿足所述條件的導電部對。

10.根據權利要求5至9中任一項所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述基板還包括：多個所述配線層、及連接所述多個配線層間的多個通孔，

所述檢查指示信息產生裝置還包括簡化處理部，所述簡化處理部執行簡化處理，所述簡化處理在所述多個配線層的配線并聯連接的情況下，以將所述并聯連接的多根配線替換為一根配線的方式，變更所述導電結構信息，

所述檢查指示信息產生部基于執行了所述簡化處理的導電結構信息，執行所述搜索處理。

11.根據權利要求10所述的檢查指示信息產生裝置，其中所述簡化處理還包括如下處理：在通過所述多個配線層的配線而并聯連接有所述通孔或通孔的列的情況下，以將所述并聯連接的通孔或通孔的列替換為一個通孔或一列通孔的方式，變更所述導電結構信息。