[發明專利]圖像處理方法以及圖像處理裝置

在審

• 申請號: 201980071985.8
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN113016052A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 小林真二
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22;G06T7/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

本發明涉及圖像處理方法以及圖像處理裝置。是處理圖像的圖像處理方法，具有：(A)獲取多個幀圖像的步驟，該幀圖像是通過對拍攝對象用一次荷電粒子線掃描而獲得的；(B)根據多個上述幀圖像按每個像素判定亮度的概率分布的步驟；以及(C)生成拍攝對象的圖像的步驟，該拍攝對象的圖像相當于對基于每個像素的上述亮度的概率分布所生成的多個另外幀圖像進行平均化得到的圖像。

技術領域

本公開涉及圖像處理方法以及圖像處理裝置。

背景技術

在專利文獻1公開了如下方法：是使電子束掃描晶片上的圖案來獲得圖像的方法，通過將在多個幀中獲取的信號累計來形成S/N比高的圖像。

專利文獻1:日本特開2010－92949號公報。

發明內容

本公開所涉及的技術進一步減少對拍攝對象掃描荷電粒子線獲得的圖像中的噪聲。

本公開的一個方式是處理圖像的圖像處理方法，具有：(A)獲取多個幀圖像的步驟，上述幀圖像是通過對拍攝對象的一次荷電粒子線的掃描而獲得的；(B)根據多個上述幀圖像按每個像素判定亮度的概率分布的步驟；以及(C)生成拍攝對象的圖像的步驟，上述拍攝對象的圖像相當于對基于每個像素的上述亮度的概率分布所生成的多個另外幀圖像進行平均化得到的圖像。

根據本公開，能夠進一步減少對拍攝對象掃描荷電粒子線獲得的圖像中的噪聲。

附圖說明

圖1是表示每個實際的幀圖像中的特定像素的亮度的圖。

圖2是關于256幀全部的、X坐標與特定像素一致的像素全部，對亮度進行直方圖化的圖。

圖3是表示包括第一實施方式所涉及的作為圖像處理裝置的控制裝置的處理系統的結構的概略的圖。

圖4是表示控制部的圖像處理所涉及的結構的概略的框圖。

圖5是說明圖4的控制部中的處理的流程圖。

圖6示出對256幀的幀圖像進行平均化得到的圖像。

圖7示出對基于用于圖6的圖像生成的256幀的幀圖像所生成的256幀的人工幀圖像進行平均化得到的人工圖像。

圖8是表示從256的幀圖像生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖，示出頻率與振動能量的關系。

圖9是表示從256的幀圖像生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖，示出幀數與高頻成分的噪聲電平的關系。

圖10是對256張的過程噪聲為零的虛擬的幀圖像進行平均化得到的圖像。

圖11示出基于用于圖10的圖像生成的256幀的上述虛擬的幀圖像來生成256幀的人工幀圖像，并對這些人工幀圖像進行平均化得到的人工圖像。

圖12是表示從256張的過程噪聲為零的虛擬的幀圖像生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖，示出頻率與振動能量的關系。

圖13是表示從256張的過程噪聲為零的虛擬的幀圖像生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖，示出幀數與高頻成分的噪聲電平的關系。

圖14是表示從256的幀圖像生成的人工圖像中的其它頻率解析結果、亦即將人工圖像生成時的人工幀圖像的幀數設為256以下時的結果的圖，示出頻率與振動能量的關系。

圖15是表示從256的幀圖像生成的人工圖像中的其它頻率解析結果、亦即將人工圖像生成時的人工幀圖像的幀數設為256以下時的結果的圖，示出幀數與高頻成分的噪聲電平的關系。

圖16示出用于人工圖像的生成的原幀圖像以及人工幀圖像的幀數都為256的情況下的、每個幀圖像以及每個人工幀圖像的亮度的面內平均值的一個例子。

圖17是表示對從256幀的幀圖像生成的人工幀圖像進行亮度調整，從該亮度調整后的人工幀圖像生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖。

圖18是表示使用使從256幀的幀圖像生成的人工幀圖像移位后的幀圖像所生成的人工圖像中的頻率解析結果的圖。

圖19示出通過第四實施方式所涉及的方法生成的無限幀的人工圖像。

圖20是表示第五實施方式所涉及的控制部的圖像處理所涉及的結構的概略的框圖。