[發明專利]圖像處理方法以及圖像處理裝置

在審

• 申請號: 201980071985.8
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN113016052A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 小林真二
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22;G06T7/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

1.一種圖像處理方法，是處理圖像的圖像處理方法，具有：

(A)獲取多個幀圖像的步驟，上述幀圖像是通過對拍攝對象用一次荷電粒子線掃描而獲得的；

(B)根據多個上述幀圖像按每個像素判定亮度的概率分布的步驟；以及

(C)生成拍攝對象的圖像的步驟，上述拍攝對象的圖像相當于對基于每個像素的上述亮度的概率分布生成的多個另外幀圖像進行平均化得到的圖像。

2.根據權利要求1所述的圖像處理方法，其中，

上述亮度的概率分布遵循對數正態分布或者對數正態分布的和、威布爾分布以及伽馬及泊松分布中的至少任意一個或者它們的組合。

3.根據權利要求1或者2所述的圖像處理方法，其中，

上述拍攝對象是形成有圖案的基板，

上述圖像處理方法還具有：基于作為在上述(C)步驟中生成的上述拍攝對象的圖像的上述基板的圖像進行上述圖案的特征量的測定的步驟。

4.根據權利要求3所述的圖像處理方法，其中，

上述圖案的特征量是上述圖案的線寬度、上述圖案的線寬度粗糙度、以及上述圖案的線邊緣粗糙度中的至少任意一個。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的圖像處理方法，其中，

上述拍攝對象是形成有圖案的基板，

上述圖像處理方法還具有：基于作為在上述(C)步驟中生成的上述拍攝對象的圖像的上述基板的圖像進行上述圖案的解析的步驟。

6.根據權利要求5所述的圖像處理方法，其中，

上述解析是上述圖案的線寬度粗糙度的頻率解析以及上述圖案的線邊緣粗糙度的頻率解析中的至少任意一個。

7.根據權利要求1～6中的任意一項所述的圖像處理方法，其中，

上述(C)步驟具有：

按第二幀以后的上述幀圖像各個中的每個像素，基于一系列上述幀圖像中的該像素的亮度的時間變化來修正該像素的亮度的步驟；以及

根據包括修正后的上述第二幀以后的上述幀圖像的上述多個上述幀圖像按每個像素判定上述亮度的概率分布的步驟。

8.根據權利要求1～7中的任意一項所述的圖像處理方法，其中，

上述(C)步驟具有：

基于來自第一幀的上述幀圖像的圖像面內的移位量來修正第二幀以后的上述幀圖像各個的步驟；以及

根據包括修正后的上述第二幀以后的上述幀圖像的上述多個上述幀圖像按每個像素判定上述亮度的概率分布的步驟。

9.根據權利要求1～8中的任意一項所述的圖像處理方法，其中，

上述亮度的概率分布遵循對數正態分布，

上述(B)步驟是按每個像素計算規定上述對數正態分布的兩個參數μ、σ的步驟，

在上述(C)步驟中，基于上述兩個參數μ、σ來生成上述拍攝對象的圖像。

10.根據權利要求9所述的圖像處理方法，其中，

上述圖像處理方法還具有：針對通過上述進行計算的步驟所計算出的每個像素的上述兩個參數μ、σ中的至少任意一方實施低通濾波處理的步驟，

在上述(C)步驟中，基于對至少任意一方實施了上述低通濾波處理的每個上述像素的上述兩個參數μ、σ來生成上述拍攝對象的圖像。

11.根據權利要求10所述的圖像處理方法，其中，

上述拍攝對象是形成有圖案的基板，

實施上述低通濾波處理時，針對每個上述像素的上述兩個參數μ、σ的至少任意一方，僅在與上述圖案的形狀對應的方向上實施上述低通濾波處理。

12.根據權利要求1～11中的任意一項所述的圖像處理方法，其中，

在上述(C)步驟中，

基于每個像素的上述亮度的概率分布依次生成上述多個上述另外幀圖像，

對所生成的上述多個上述另外幀圖像進行平均化，生成上述拍攝對象的圖像。