[發(fā)明專利]顯微鏡和顯微鏡檢查的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980071523.6
• 申請日: 2019-10-23
• 公開（公告）號: CN113056696A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設計）人: 丹尼爾·施韋特;蒂莫·安胡特
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G02B21/36;G01N21/64
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆森;戚傳江

1.一種顯微鏡，包括

用于提供照明光(12)的光源(L)，

可控的操縱設備(16)，所述操縱設備(16)用于可變地產(chǎn)生所述照明光(12)的待選擇的照明圖案(18)，

照明光束路徑(10)，所述照明光束路徑(10)具有用于將所述照明圖案(18)指引至待檢驗的樣品(S)上的顯微鏡物鏡(25)，

檢測器(D)，所述檢測器(D)具有用于檢測由所述樣品(S)發(fā)出的熒光(32)的多個像素(36)，

檢測光束路徑(30)，所述檢測光束路徑(30)用于將由所述樣品(S)發(fā)出的所述熒光(32)指引至所述檢測器(D)上，

主分束器(19)，所述主分束器(19)用于使照明光(12)和所述熒光(32)分離，

控制和評估單元(40)，所述控制和評估單元(40)用于控制所述操縱設備(16)并且評估由所述檢測器(D)測量的數(shù)據(jù)，

其特征在于：

所述操縱設備(16)在相對于樣品平面(26)光學共軛的平面(15)附近被設置在所述主分束器(19)上游的所述照明光束路徑(10)中，

能夠由所述控制和評估單元(40)個別地并且以待選擇的讀出圖案激活所述檢測器(D)的像素(36)，以及

所述控制和評估單元(40)被配置為個別地或以取決于所選擇的照明圖案(18)的所選擇的讀出圖案來激活所述檢測器(D)的像素(36)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡，

其特征在于：

用于產(chǎn)生待選擇的照明圖案(18)的所述操縱設備(16)包括多個像素。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯微鏡，

其特征在于，

所述操縱設備(16)包括數(shù)字微鏡陣列(DMD)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于：

所述操縱設備(16)包括空間光調(diào)制器(SLM)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于：

用于可變地產(chǎn)生照明圖案(18)的所述操縱設備(16)包括可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯微鏡，

其特征在于，

所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)包括多個針孔光闌，所述多個針孔光闌被螺旋狀，特別是以阿基米德螺旋的形式設置，所述多個針孔光闌特別是Nipkow盤。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的顯微鏡，

其特征在于，

所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)包括多個槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于，

在所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)的上游存在微透鏡陣列(42)，所述微透鏡陣列(42)將照明光(12)聚焦到所述光闌盤(43)的光闌開口上，并在操作期間以與所述光闌盤(43)相同的速度旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于，

所述控制和評估單元被配置為使所述檢測器(D)的讀出圖案與由所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)產(chǎn)生的照明圖案(18)同步。

10.根據(jù)權(quán)利要求5至9中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于，

存在用于測量通過所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)的間歇性光透射或來自所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)的間歇性光反射的光電二極管，以用于使所述檢測器(D)的控制與所述可旋轉(zhuǎn)光闌盤(43)的移動同步。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于，

所述檢測器(D)包括SPAD陣列或SPAD相機。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中的任一項所述的顯微鏡，

其特征在于，

微透鏡陣列存在于所述檢測器(D)的上游。