[發明專利]閥裝置和氣體供給系統在審
| 申請號: | 201980070752.6 | 申請日: | 2019-10-21 |
| 公開(公告)號: | CN112955685A | 公開(公告)日: | 2021-06-11 |
| 發明(設計)人: | 松田隆博;相川獻治;原田章弘;渡邊一誠;中田知宏;篠原努 | 申請(專利權)人: | 株式會社富士金 |
| 主分類號: | F16K27/00 | 分類號: | F16K27/00 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 劉新宇;張會華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 氣體 供給 系統 | ||
1.一種閥裝置,其能夠拆卸地安裝于形成有流路的流路塊,其中,
所述閥裝置具有:
閥體,其收納于在所述流路塊形成且截面形狀為圓形的收納凹部,并且在底面形成有第1端口和第2端口;以及
閥蓋螺母,其形成于外周的外螺紋部和形成于所述收納凹部的內周的內螺紋部螺紋結合,由此,將所述閥體朝向所述收納凹部的底部按壓,并且將該閥體固定于所述流路塊,
所述閥體具有外周面部,所述外周面部嵌入于所述流路塊的收納凹部的內周面部,在所述外周面部形成有定位用的凸部,所述凸部規定所述閥體相對于所述流路塊的以中心軸線為中心的旋轉位置。
2.根據權利要求1所述的閥裝置,其中,
在所述閥體的仰視圖中,所述定位用的凸部控制在所述閥蓋螺母的外周的螺紋部的外徑內。
3.根據權利要求1或2所述的閥裝置,其中,
所述定位用的凸部與自所述流路塊的收納凹部的內周的上端部朝向底部延伸的槽部卡合。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的閥裝置,其中,
所述槽部形成于所述內螺紋部以及供所述外周面部嵌入的所述內周面部。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的閥裝置,其中,
所述第1端口和第2端口形成為關于包含所述閥體的中心軸線的假想平面左右對稱。
6.一種氣體供給系統,其排列有多個流體設備,其中,
所述多個流體設備包括權利要求1至5中任一項所述的閥裝置。
7.根據權利要求6所述的氣體供給系統,其中,
所述閥裝置設于氣體供給系統的供給路徑的最后段。
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