[發明專利]半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統

在審

• 申請號: 201980069006.5
• 申請日: 2019-08-23
• 公開（公告）號: CN112912926A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 裵允晟;裵坰洙;洪光珍;李秀昌;金珉成;李昌雨
• 申請（專利權）人: 無盡電子有限公司;格林資訊及通信有限公司
• 主分類號: G06T7/246
• 分類號: G06T7/246;H01L21/67;H04N7/18
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 鐘錦舜;姜香丹

本發明涉及一種半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統。本發明包括：圖像捕獲單元，其包括布置在半導體裝置的多個點處的相機，以捕獲由半導體裝置執行的對對象進行的處理過程；裝置控制器，其被配置為控制半導體裝置的操作并發送作為用于識別對象的信息的對象識別信息、對象的映射到時間信息的位置信息、以及指示半導體裝置的當前操作狀態的操作狀態信息；以及網絡圖像記錄設備，其被配置為執行控制以將相機識別信息添加到從圖像捕獲單元接收到的圖像信息中并將添加有相機識別信息的圖像信息存儲在圖像數據庫中，并且被配置為執行控制以將從裝置控制器接收到的包括對象識別信息、對象的映射到時間信息的位置信息以及操作狀態信息的跟蹤信息存儲到跟蹤數據庫中，相機識別信息用于識別捕獲圖像信息的相機。本發明可以為用戶提供支持，使得用戶能夠跟蹤從作為半導體工藝的處理對象的晶片、批量等投入到子裝置中直到完成半導體工藝為止的整個過程。

技術領域

本發明涉及一種半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，更具體地，涉及一種支持用戶能夠跟蹤從作為半導體工藝的處理對象的晶片、批次等投入到構成半導體裝置的子裝置中直到半導體工藝完成為止的整個工藝的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統。

背景技術

通常，半導體工藝以連續執行子工藝的方式進行，并且半導體裝置可以說是用于構成整個半導體工藝的子工藝的裝置的集合。

由于半導體工藝是多個子工藝的集合，因此有必要與工藝管理相關聯地跟蹤在整個半導體工藝中的哪個步驟中處理特定晶片或容納該晶片的批次。

根據與半導體工藝管理相關聯的現有的圖像記錄方法，在可以捕獲構成整個半導體裝置的子裝置的處理操作的位置處設置多個相機，并且由相機捕獲的圖像可以僅與相機的ID匹配而進行存儲。

然而，根據現有技術，當用戶想要查詢作為半導體工藝的對象的特定晶片的當前狀態時，如果在多個相機中輸入特定相機的ID，則由于圖像記錄裝置只是向用戶顯示由相應相機捕獲的個別圖像，因此存在用戶無法檢查整個半導體工藝的問題。即，根據現有技術，圖像記錄裝置將由設置在特定位置的相機捕獲的圖像記錄為個別圖像，因此，用戶難以跟蹤從作為半導體工藝對象的晶片、批次等投入到構成半導體裝置的子裝置中直到半導體工藝完成為止的整個工藝。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

(專利文獻0001)韓國授權專利第10-1619097號(授權日期：2016年5月2日，發明名稱“半導體制造工藝中的過程監控系統”)

(專利文獻0002)韓國專利公開第10-2005-0048121號(公開日期：2005年5月24日，發明名稱“蝕刻裝置的監控系統及其監控方法”)

發明內容

技術問題

本發明旨在提供一種半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，其允許用戶能夠跟蹤從作為半導體工藝的處理對象的晶片、批次等投入到構成半導體裝置的子裝置中直到半導體工藝完成為止的整個工藝。

解決方案

為了解決上述技術問題，根據本發明的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統包括：圖像捕獲單元，其包括布置在半導體裝置的多個點處的相機，以捕獲由半導體裝置執行的對對象進行的處理過程；裝置控制器，其被配置為控制半導體裝置的操作并發送對象識別信息、對象的映射到時間信息的位置信息、以及指示半導體裝置的當前操作狀態的操作狀態信息，其中所述對象識別信息為用于識別所述對象的信息；以及網絡圖像記錄設備，其被配置為執行控制以將相機識別信息添加到從圖像捕獲單元接收到的圖像信息中并將添加有相機識別信息的圖像信息存儲在圖像數據庫中，并且被配置為執行控制以將從裝置控制器接收到的包括對象識別信息、對象的映射到時間信息的位置信息以及操作狀態信息的跟蹤信息存儲到跟蹤數據庫中，其中，相機識別信息用于識別捕獲圖像信息的相機。