[發明專利]半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統

在審

• 申請號: 201980069006.5
• 申請日: 2019-08-23
• 公開（公告）號: CN112912926A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 裵允晟;裵坰洙;洪光珍;李秀昌;金珉成;李昌雨
• 申請（專利權）人: 無盡電子有限公司;格林資訊及通信有限公司
• 主分類號: G06T7/246
• 分類號: G06T7/246;H01L21/67;H04N7/18
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 鐘錦舜;姜香丹

1.一種半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，所述智能圖像跟蹤系統包括：

圖像捕獲單元，其包括布置在半導體裝置的多個點處的相機，以捕獲由所述半導體裝置執行的對對象進行的處理過程；

裝置控制器，其被配置為控制所述半導體裝置的操作并發送對象識別信息、所述對象的映射到時間信息的位置信息、以及指示所述半導體裝置的當前操作狀態的操作狀態信息，其中所述對象識別信息是用于識別所述對象的信息；以及

網絡圖像記錄設備，其被配置為執行控制以將相機識別信息添加到從所述圖像捕獲單元接收到的圖像信息中并將添加有所述相機識別信息的所述圖像信息存儲在圖像數據庫中，并且被配置為執行控制以將從所述裝置控制器接收到的包括所述對象識別信息、所述對象的映射到所述時間信息的位置信息以及所述操作狀態信息的跟蹤信息存儲到跟蹤數據庫中，其中，所述相機識別信息用于識別捕獲所述圖像信息的相機。

2.根據權利要求1所述的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，其中，所述網絡圖像記錄設備被配置為執行控制，以通過根據用戶輸入的搜索條件將存儲在所述跟蹤數據庫中的所述跟蹤信息與存儲在所述圖像數據庫中的添加有所述相機識別信息的圖像信息進行匹配，將由所述半導體裝置執行的對所述對象進行的處理過程顯示為連續的圖像。

3.根據權利要求1所述的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，其中，所述網絡圖像記錄設備將所述對象識別信息配置為根節點，將所述對象移動的路徑上的起點和終點配置為子節點，并將所述跟蹤信息以樹形結構存儲在所述跟蹤數據庫中。

4.根據權利要求3所述的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，其中，當多個相機負責捕獲被配置為所述子節點的所述起點或所述終點時，所述網絡圖像記錄設備根據所述操作狀態信息選擇所述多個相機中的一個。

5.根據權利要求1所述的半導體工藝中的智能圖像跟蹤系統，其中，當所述半導體裝置為多個并且負責所述半導體裝置的裝置控制器和網絡圖像記錄設備具有與所述半導體裝置的數量相對應的數量時，所述智能圖像跟蹤系統還包括：被配置為管理所述網絡圖像記錄設備的中央管理設備，并且

所述中央管理設備響應于來自遠程位置的用戶終端的請求而執行控制，以將由所述多個網絡圖像記錄設備中的、由所述用戶終端指定的網絡圖像記錄設備提供的圖像顯示到所述用戶終端。