[發(fā)明專利]諧振子和具備諧振子的諧振裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201980057531.5 | 申請日： | 2019-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN112640302A | 公開（公告）日： | 2021-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 井上義久;河合良太;后藤雄一 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | H03H9/24 | 分類號： | H03H9/24;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/253;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王瑋;張豐橋 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 諧振子 具備 諧振 裝置 | ||
1.一種諧振子，其特征在于，具備：
基部；和
至少三個振動臂，其具有壓電膜和之間隔著所述壓電膜對置設(shè)置的上部電極和下部電極，且一端是與所述基部的前端部連接的固定端，另一端是離開所述前端部設(shè)置的自由端，
所述至少三個振動臂中各振動臂具有：臂部，其具有沿著從所述固定端朝向所述自由端的方向以相同寬度延伸的部分；和質(zhì)量附加部，其與所述臂部的末端連接，且比所述臂部寬度大，
在所述至少三個振動臂中的相鄰且相互反相振動的任兩個振動臂中，所述質(zhì)量附加部彼此的間隔大于所述臂部彼此的間隔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振子，其特征在于，
所述至少三個振動臂由配置于外側(cè)的兩個外側(cè)振動臂和配置于內(nèi)側(cè)的一個或者兩個內(nèi)側(cè)振動臂構(gòu)成，且構(gòu)成為所述外側(cè)振動臂和所述內(nèi)側(cè)振動臂相互反相振動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振子，其特征在于，
所述外側(cè)振動臂的所述質(zhì)量附加部相對于所述外側(cè)振動臂的所述臂部的中心，在與所述振動臂延伸的方向交叉的方向上向離開所述內(nèi)側(cè)振動臂的方向偏移。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的諧振子，其特征在于，
所述內(nèi)側(cè)振動臂的所述質(zhì)量附加部相對于所述內(nèi)側(cè)振動臂的所述臂部的中心，在與所述振動臂延伸的方向交叉的方向上向離開所述外側(cè)振動臂的方向偏移。
5.一種諧振裝置，其特征在于，具備：
權(quán)利要求1～4中任一項所述的諧振子；
下蓋，其與所述諧振子接合；以及
上蓋，其隔著所述諧振子而與所述下蓋接合，且在所述上蓋與所述下蓋之間形成供所述至少三個振動臂振動的振動空間。
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