[發明專利]諧振子和具備諧振子的諧振裝置

在審

• 申請號: 201980057531.5
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN112640302A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 井上義久;河合良太;后藤雄一
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/24
• 分類號: H03H9/24;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/187;H01L41/253;H01L41/29
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王瑋;張豐橋

諧振子(10)具備：基部(130)；和至少三個振動臂(121A～D)，其一端是與基部(130)的前端部(131A)連接的固定端，另一端是離開前端部(131A)設置的自由端，至少三個振動臂(121A～D)中各振動臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿著從固定端朝向自由端的方向以相同寬度延伸的部分；和質量附加部(122A～D)，其與臂部(123A～D)的末端連接，且比臂部(123A～D)寬度大，在相鄰且相互反相振動的任兩個振動臂(121A、121B)中，質量附加部(122A、122B)彼此的間隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的間隔(PT13)。

技術領域

本發明涉及諧振子和具備諧振子的諧振裝置。

背景技術

在智能手機等電子設備，例如作為定時設備，裝入有作為MEMS(Micro ElectroMechanical Systems：微機電系統)之一種的諧振裝置。這樣的諧振裝置例如具備：下蓋；在自身與下蓋之間形成腔體的上蓋；以及配置于下蓋和上蓋之間的腔體內的諧振子。諧振子例如具備：壓電膜；隔著壓電膜設置的上部電極和下部電極；以及設置于層間或者表面的絕緣膜。

作為這樣的諧振子的具體結構，例如，專利文獻1公開一種諧振子，具備：第1電極和第2電極；設置于第1電極與第2電極之間的壓電膜；由設置在第1電極上的絕緣體構成的保護膜；以及由設置在保護膜上的導電體構成的導電膜，導電膜與第1電極和第2電極中任一者電連接。

另外，專利文獻2公開一種諧振子，為具有從基部延出且以面內屈曲振動模式振動的一對振動臂的音叉型諧振子，振動臂由與基部結合的規定寬度的臂部和設置于臂部的末端部的寬度大的質量附加部構成，質量附加部具有僅在與另一個振動臂相反側的寬度方向上從臂部的側面突出的部分。

并且，專利文獻3公開一種諧振子，其具備從基部起并行延伸的內側振動臂和外側振動臂，各振動臂具有與基部連接的固定端和形成有質量附加部的自由端，在鄰接的外側振動臂和內側振動臂中，相互對置的側面為平面狀，與相互對置的側面相反側的側面在質量附加部處突出。

專利文獻1：國際公開第2017/208568號

專利文獻2:日本特許第5509647號公報

專利文獻3:國際公開第2017/047207號

以往，在諧振子中，公知存在如下情況：在由于離子束濺射、熱電效應等而使表面或者層間的絕緣體、導電體帶電時，通過庫侖力對諧振子作用引力或者斥力，諧振頻率變動。這樣的因庫侖力產生的影響在相互鄰接且反相振動的振動臂的結構中較為顯著。

在這一方面，在專利文獻1記載的諧振子中，能夠使導電膜所帶電的電荷以一定程度逸出，但存在設置導電膜的區域受到限制這種情況，從而存在無法充分排除庫侖力的影響這種情況。另外，在專利文獻2和3所記載的諧振子中，沒有格外考慮因絕緣膜、絕緣的導電膜所帶電的電荷產生的庫侖力的影響。

發明內容

本發明是鑒于這樣的狀況而完成的，目的在于提供不有損機械強度且能夠抑制諧振頻率的變動的諧振子和具備它的諧振裝置。

本發明的一方式所涉及的諧振子具備：基部；和至少三個振動臂，其具有壓電膜及之間隔著壓電膜而對置設置的上部電極和下部電極，且一端是與基部的前端部連接的固定端，另一端是離開前端部設置的自由端，至少三個振動臂中各振動臂具有：臂部，其具有沿著從固定端朝向自由端的方向以相同寬度延伸的部分；和質量附加部，其與臂部的末端連接，且寬度比臂部大，在至少三個振動臂中相鄰且相互反相振動的任兩個振動臂中，質量附加部彼此的間隔大于臂部彼此的間隔。

根據本發明，能夠提供不有損機械強度且能夠抑制諧振頻率的變動的諧振子和具備它的諧振裝置。

附圖說明

圖1是概略地示出本發明的第1實施方式所涉及的諧振裝置的外觀的立體圖。