[發(fā)明專利]含氟氣的氣體的供給方法和供給設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201980056969.1
• 申請日: 2019-07-30
• 公開（公告）號: CN112639352B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾勇彌
• 申請（專利權(quán)）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00;F16K7/16;F17C13/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 王瀟悅;段承恩

提供一種含氟氣的氣體的供給方法，其不會使含氟氣的氣體的供給設(shè)備的裝置結(jié)構(gòu)變復(fù)雜，并且不會降低含氟氣的氣體的氟氣濃度。實(shí)行封閉工序，以壓力低于填充容器(2)內(nèi)的氣壓的方式向配管(4)中的容器閥(3)與壓力調(diào)整器(7)之間的部分導(dǎo)入第2含氟氣的氣體，該第2含氟氣的氣體的氟氣濃度相對于第1含氟氣的氣體的氟氣體濃度在±10％的范圍內(nèi)。封閉工序之后，將緩沖罐(9)設(shè)為打開狀態(tài)，從填充容器(2)向配管(4)中的容器閥(3)與壓力調(diào)整器(7)之間的部分導(dǎo)入第1含氟氣的氣體，然后將壓力調(diào)整器(7)設(shè)為打開狀態(tài)，在通過壓力調(diào)整器(7)調(diào)整壓力的同時(shí)向消費(fèi)設(shè)備(20)供給第1含氟氣的氣體。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及含氟氣的氣體的供給方法和供給設(shè)備。

背景技術(shù)

含氟氣的氣體被用作半導(dǎo)體制造裝置的清洗氣體。在清洗氣體的供給設(shè)備中，為了防止清洗氣體從各設(shè)備和配管的連結(jié)部分泄漏，通過由形狀跟隨性良好的樹脂材料形成的密封材料來密封上述連結(jié)部分。但是，當(dāng)從高壓填充有氣體的容器經(jīng)由配管向消費(fèi)設(shè)備供給高壓氣體的情況下，由于從容器向配管內(nèi)導(dǎo)入高壓氣體時(shí)的絕熱壓縮而引起的發(fā)熱和沖擊波，可能導(dǎo)致密封材料熱變形、熔損或燒毀。

因此，為了防止密封材料發(fā)生熱變形、熔損或燒毀，提出了一種氣體供給方法，經(jīng)由沖擊波衰減機(jī)構(gòu)從高壓填充有氣體的容器向消費(fèi)設(shè)備供給高壓氣體(例如參見專利文獻(xiàn)1、2)。

根據(jù)專利文獻(xiàn)1、2公開的氣體供給方法，盡管能夠防止密封材料的熱變形等，但需要沖擊波衰減機(jī)構(gòu)，因此不僅使清洗氣體供給設(shè)備的裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，還可能無法向消費(fèi)設(shè)備供給足夠流量的清洗氣體。

專利文獻(xiàn)3提出了一種氣體供給方法，利用減壓裝置將高壓填充到容器中的含氟氣的氣體減壓，然后向消費(fèi)設(shè)備供給。在專利文獻(xiàn)3公開的氣體供給方法中，實(shí)行填充封閉工序，向連通容器的容器閥與減壓裝置的配管內(nèi)填充壓力高于向消費(fèi)設(shè)備的供給壓力且低于容器的填充壓力的惰性氣體，在該填充封閉工序后，從容器經(jīng)由上述配管向消費(fèi)設(shè)備供給含氟氣的氣體。

根據(jù)專利文獻(xiàn)3公開的氣體供給方法，除了不會使清洗氣體的供給設(shè)備的裝置結(jié)構(gòu)變復(fù)雜以外，還能夠向消費(fèi)設(shè)備供給足夠流量的清洗氣體。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開公報(bào)2012年第154429號

專利文獻(xiàn)2：日本專利公開公報(bào)2012年第167813號

專利文獻(xiàn)3：日本專利公開公報(bào)2015年第212558號

發(fā)明內(nèi)容

但是，專利文獻(xiàn)3公開的氣體供給方法中，存在含氟氣的氣體的氟氣濃度由于惰性氣體而降低的問題。另外，含氟氣的氣體從容器供給到消費(fèi)設(shè)備為止經(jīng)由許多閥和過濾器，絕熱壓縮引起的發(fā)熱和沖擊波的產(chǎn)生頻率變高，因此可能導(dǎo)致無法充分抑制密封材料的熱變形、熔損或燒毀。

本發(fā)明的課題是提供一種含氟氣的氣體的供給方法和供給設(shè)備，其不會使含氟氣的氣體的供給設(shè)備的裝置結(jié)構(gòu)變復(fù)雜，并且能夠抑制在含氟氣的氣體的供給設(shè)備中使用的樹脂材料制的構(gòu)件的熱變形、熔損或燒毀，還能夠供給足夠流量的含氟氣的氣體而不會降低含氟氣的氣體的氟氣體濃度。

為了解決所述課題，本發(fā)明的一方式如以下[1]～[8]所示。

[1]一種含氟氣的氣體的供給方法，該方法從含氟氣的氣體的供給設(shè)備向消費(fèi)所述含氟氣的氣體的消費(fèi)設(shè)備供給所述含氟氣的氣體，

所述供給設(shè)備具備：填充有第1含氟氣的氣體的填充容器、將所述填充容器的容器閥和所述消費(fèi)設(shè)備連通的配管、設(shè)在所述配管上且在調(diào)整氣壓的同時(shí)使氣體從上游側(cè)流向下游側(cè)的壓力調(diào)整器、以及與所述配管中的比所述壓力調(diào)整器靠上游側(cè)的部分連接的緩沖罐，