[發明專利]可動部位置檢測方法、基板處理方法、基板處理裝置以及基板處理系統

有效

• 申請號: 201980056745.0
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN112639391B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 沖田有史;猶原英司;角間央章;增井達哉
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;H01L21/304
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 魏彥

1.一種可動部位置檢測方法，檢測在腔室內的處理空間中移動的可動部的位置，其中，包括：

工序(a)，通過用第一相機拍攝配置在第一腔室內的第一可動部及第一標識部，獲取第一圖像；

工序(b)，通過用第二相機拍攝配置在第二腔室內的第二可動部及第二標識部，獲取第二圖像；

工序(c)，計算出所述第一圖像中的所述第一標識部的位置與所述第二圖像中的所述第二標識部的位置之間的位置差異；以及

工序(d)，根據所述第一圖像中的所述第一可動部的位置以及所述位置差異，在所述第二圖像中設定用于檢測所述第二可動部的位置的判定區域。

2.根據權利要求1所述的可動部位置檢測方法，其中，所述第一標識部分散地設置在所述第一腔室的多個部位。

3.根據權利要求1或2所述的可動部位置檢測方法，其中，所述第一標識部是以水平姿勢保持基板的基板保持部。

4.根據權利要求1或2所述的可動部位置檢測方法，其中，所述工序(d)包括：

工序(d-1)，在所述第一圖像中設定包含所述第一可動部的基準判定區域；以及

工序(d-2)，在所述第二圖像中，應用所述基準判定區域，并且根據所述位置差異來修正位置，從而設定所述判定區域。

5.一種基板處理方法，使用在腔室內的處理空間中移動的可動部對基板進行處理，其中，包括：

工序(A)，通過用第一相機拍攝配置在第一腔室內的第一可動部及第一標識部，獲取第一圖像；

工序(B)，通過用第二相機拍攝配置在第二腔室內的第二可動部及第二標識部，獲取第二圖像；

工序(C)，計算出所述第一圖像中的所述第一標識部的位置與所述第二圖像中的所述第二標識部的位置之間的位置差異；以及

工序(D)，根據所述第一圖像中的所述第一可動部的位置以及所述位置差異，在所述第二圖像中設定用于檢測所述第二可動部的位置的判定區域。

6.一種基板處理裝置，使用在腔室內的處理空間中移動的可動部對基板進行處理，其中，具有：

第一處理單元，包括第一腔室、在所述第一腔室內的處理空間內移動的第一可動部以及設置在所述第一腔室內的第一標識部；

第二處理單元，包括第二腔室、在所述第二腔室內的處理空間內移動的第二可動部以及設置在第二腔室內的第二標識部；

第一相機，對所述第一可動部及所述第一標識部進行攝影來獲取第一圖像；

第二相機，對所述第二可動部及所述第二標識部進行攝影來獲取第二圖像；

差異運算部，求出所述第一圖像中的所述第一標識部的位置與所述第二圖像中的所述第二標識部的位置之間的位置差異；以及

判定區域設定部，根據所述第一圖像中的所述第一可動部的位置以及所述位置差異，在所述第二圖像中設定用于檢測所述第二可動部的位置的判定區域。

7.一種基板處理系統，其中，具有：

第一基板處理裝置，

第二基板處理裝置，以及

信息處理部，以能夠進行信息通信的方式與所述第一基板處理裝置及所述第二基板處理裝置連接；

所述第一基板處理裝置具有：

第一處理單元，包括第一腔室、在所述第一腔室內的處理空間內移動的第一可動部以及設置在所述第一腔室內的第一標識部，以及

第一相機，對所述第一可動部及所述第一標識部進行攝影來獲取第一圖像；

所述第二基板處理裝置具有：

第二處理單元，包括第二腔室、在所述第二腔室內的處理空間內移動的第二可動部以及設置在第二腔室內的第二標識部，以及

第二相機，對所述第二可動部及所述第二標識部進行攝影來獲取第二圖像；

所述信息處理部具有：

差異運算部，求出所述第一圖像中的所述第一標識部的位置與所述第二圖像中的所述第二標識部的位置之間的位置差異，以及

判定區域設定部，根據所述第一圖像中的所述第一可動部的位置以及所述位置差異，在所述第二圖像中設定用于檢測所述第二可動部的位置的判定區域。