[發(fā)明專利]壓電致動(dòng)器、致動(dòng)器系統(tǒng)、襯底支撐件和包括致動(dòng)器的光刻設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201980053400.X
• 申請(qǐng)日: 2019-07-15
• 公開（公告）號(hào): CN112567541A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·簡(jiǎn)森;H·巴特勒;A·P·戴克舒恩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/09
• 分類號(hào): H01L41/09;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王益

所披露的壓電致動(dòng)器(40)包括第一對(duì)電極(410)、第二對(duì)電極(420)、以及具有第一表面(44)和第二表面(46)的壓電材料(42)。所述第一表面沿第一方向(x)和第二方向(y)布置。所述第一對(duì)電極包括被布置在所述第一表面上的第一電極和被布置在所述第二表面上的第二電極。所述第二對(duì)電極被布置在另一表面(430,432)上以剪切所述壓電材料。所述第一對(duì)電極被布置用以沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向(z)伸長(zhǎng)所述壓電材料。所述第一電極被分成至少兩個(gè)部分(410a,410b)并且被布置用以繞所述第一方向?qū)⑺龅谝槐砻婧退龅诙砻嫦鄬?duì)于彼此旋轉(zhuǎn)。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求于2018年8月16日提交的歐洲申請(qǐng)18189293.6的優(yōu)先權(quán)，所述申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過引用并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電致動(dòng)器、包括所述壓電致動(dòng)器的壓電致動(dòng)器系統(tǒng)、包括所述壓電致動(dòng)器的襯底支撐件、以及包括所述壓電致動(dòng)器的光刻設(shè)備。

背景技術(shù)

光刻設(shè)備是一種構(gòu)造為將所期望的圖案施加到襯底上的機(jī)器。例如，光刻設(shè)備可以使用于集成電路(IC)的制造中。光刻設(shè)備可以例如將圖案形成裝置(例如，掩模)的圖案(也經(jīng)常被稱為“設(shè)計(jì)布局”或“設(shè)計(jì)”)投影到被設(shè)置在襯底(例如，晶片)上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。

隨著半導(dǎo)體制造過程持續(xù)進(jìn)步，幾十年來，在電路元件的尺寸已經(jīng)不斷地減小的同時(shí)每器件的功能元件(諸如晶體管)的量已經(jīng)在穩(wěn)定地增加，這遵循著通常稱為“莫爾定律”的趨勢(shì)。為了跟上莫爾定律，半導(dǎo)體行業(yè)正在尋求能夠產(chǎn)生越來越小的特征的技術(shù)。為了將圖案投影到襯底上，光刻設(shè)備可以使用電磁輻射。這種輻射的波長(zhǎng)確定在襯底上圖案化的特征的最小大小。當(dāng)前使用的典型的波長(zhǎng)是365nm(i線)、248nm、193nm和13.5nm。使用極紫外(EUV)輻射(具有在4-20mm范圍內(nèi)的波長(zhǎng)，例如6.7nm或13.5nm)的光刻設(shè)備可以被用于在襯底上形成與使用例如具有193nm波長(zhǎng)的輻射的光刻設(shè)備相比更小的特征。

壓電致動(dòng)器包括壓電材料，當(dāng)經(jīng)由電極將電壓或電荷施加在所述壓電材料上時(shí)所述壓電材料變形。取決于所述壓電材料的形狀和所述電極在所述壓電材料上的部位，所述壓電材料可以膨脹、收縮、剪切等。當(dāng)需要迅速或高精度致動(dòng)時(shí)可以使用壓電致動(dòng)器。

當(dāng)要求致動(dòng)器可以按多自由度致動(dòng)時(shí)，典型地將多個(gè)壓電致動(dòng)器放在一起。例如，剪切型壓電裝置被連接至平移型壓電裝置。結(jié)果是較大的壓電致動(dòng)器，這在可用體積受限的情形下是不期望的。替代地，諸如在2010年11月24日公布的CN101895231A中描述的，壓電致動(dòng)器可以通過在壓電材料上施加多個(gè)電極來形成。所述多個(gè)電極被控制，使得所述壓電致動(dòng)器的頂表面可以按兩個(gè)自由度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。由于所述壓電材料的泊松比，所述頂表面可以移動(dòng)的準(zhǔn)確度受限。

如1985年3月12日公布的美國(guó)專利號(hào)4,504,045中描述的，壓電致動(dòng)器可以被布置在用于保持所述襯底的襯底支撐件上。通過控制所述壓電致動(dòng)器的長(zhǎng)度，所述襯底可以產(chǎn)生期望的平整度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種壓電致動(dòng)器來以改善的準(zhǔn)確度來校正所述襯底的形狀。為了將圖案準(zhǔn)確地投影到所述襯底上的多個(gè)層，不僅僅需要控制所述襯底的平整度。還需要控制平面內(nèi)形變，即，在由所述襯底的主表面(沿xy平面)所形成的平面中的變形。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供一種壓電致動(dòng)器，所述壓電致動(dòng)器還包括具有第一表面和第二表面的壓電材料，其中所述第一表面沿第一方向和第二方向布置；第一對(duì)電極，所述第一對(duì)電極包括被布置在所述第一表面上的第一電極和被布置在所述第二表面上的第二電極；第二對(duì)電極，所述第二對(duì)電極被布置用以剪切所述壓電材料，其中所述第一對(duì)電極被布置用以沿垂直于所述第一方向和第二方向的第三方向伸長(zhǎng)所述壓電材料，其特征在于，所述第一電極被分成至少兩個(gè)部分。